一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材.pdf

本发明公开了一种氧化铌平面靶材的制备方法，其步骤包括：1)粉体制备：将氧化铌粉体和金属铌粉体混合均匀并将粉体混合物的粒径研磨至50-200nm；2)粉体煅烧：对步骤1)中细磨后的粉体混合物进行真空煅烧；3)造粒：对步骤2)中煅烧后的粉体混合物进行造粒处理以及干燥处理；4)成型：将步骤3)中干燥后的粉体于20-70MPa下预成型，随后将预成型的坯体于200-300MPa下冷等静压成型；5)气氛烧结：将步骤4)中冷等静压成型得到的素坯于气氛烧结炉中进行气氛烧结处理；6)靶坯精加工：将步骤5)中经烧结处理后的靶

2023-06-19

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氧化铌旋转靶材的制备方法.pdf

本发明公开了一种氧化铌旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将D50粒径为5～30μm与另一种D50粒径为0.3～4μm的氧化铌粉体混合；将混合体倒入含有分散剂的去离子水中，经过球磨形成浆料；利用常规的注浆成型方式实现氧化铌旋转靶材坯体的成型，将成型的坯体经干燥后置于冷等静压设备中，形成相对密度为60～75％的陶瓷坯体；将经过冷等静压的陶瓷坯体置于气氛烧结炉中进行烧结；将烧结出来的坯体经过切割、打磨后形成规定尺寸，即为氧化铌的旋转靶材成品。本发明的优点是：所制备的靶材密度、电导率较高，且所用设备简单。

2023-06-16

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复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法.pdf

本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满

2024-01-10

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钽、铌管状靶材生产方法.pdf

本发明提供了一种钽、铌管状靶材生产方法，包括以下步骤：在选定的钽或铌粉末中加入粘结剂混匀进行粘结并装入冷压设备冷压成管状锭材；采用真空烧结炉对成型的管状锭材进行烧结；采用管材轧制机对烧结后的管状锭材进行多道次轧制，以使管状锭材的外径和内径分别达到预设尺寸；对轧制后的管状锭材进行真空热处理并结晶退火；对结晶退火后的管状锭材的内外表面进行机械加工，以使管状锭材的外径和内径分别达到最终成品尺寸。采用本发明技术方案的钽、铌管状靶材生产方法生产的钽、铌管状靶材内部组织一致性较好，保证溅射膜的质量；同时靶材成才率高，

2023-06-16

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一种高纯低密度氧化钨靶材的制备工艺及氧化钨靶材.pdf

本发明公开了一种高纯低密度氧化钨靶材的制备工艺，其制备步骤包括：1)压块：将氧化钨原料粉体以模压机或冷等静压机压制成板状块体；2)煅烧：将步骤1)中制得块体置于氧气氛炉中进行煅烧处理；3)破碎：对步骤2)中经煅烧后的块体进行破碎处理，且破碎后的粉料过50‑200目筛；4)造粒压坯：向步骤3)中经破碎处理后的粉料中加入成型剂，混合均匀后放入模具中利用模压机压制得到素坯；5)烧结：将步骤4)中得到的素坯放入氧气氛烧结炉中进行烧结处理得到所述的氧化钨靶材。本发明的氧化钨靶材，具有高纯度、低密度、以及开孔结构的特

2023-06-18

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