一种化学气相沉积法制备镍带材的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105463400A(43)申请公布日2016.04.06(21)申请号201510848713.8(22)申请日2015.11.30(71)申请人金川集团股份有限公司地址737103甘肃省金昌市金川路98号(72)发明人杨志强王芳镇肖冬明禹松涛李登瑞冀文利王大窝陈旭军白玉婷陈菊华宋晓红(74)专利代理机构中国有色金属工业专利中心11028代理人孙久姗李子健(51)Int.Cl.C23C16/16(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称一种化学气相沉积法制备镍带材的方法(57)摘要本发明公开了一种化学气相沉积法制备镍带材的方法，使用热解炉对带状镍基材进行加热，将液态羰基镍经汽化器汽化，气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中，气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体，镍沉积在带状镍基材表面，即得到镍带材。本发明的化学气相沉积法制备镍带材的方法，具有工艺周期短的优点，操作简单，且能耗低。CN105463400ACN105463400A权利要求书1/1页1.一种化学气相沉积法制备镍带材的方法，其特征在于，在该方法中，使用热解炉对带状镍基材进行加热；将液态羰基镍经汽化器汽化，气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中，气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体，镍沉积在带状镍基材表面，即得到镍带材。2.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，所述热解炉的带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴，同时，所述热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置。3.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，带状镍基材的加热温度为140℃～300℃。4.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，所述气态羰基镍与CO气体混合的质量比为1：1～4。5.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，在制备镍带材的过程中，控制热解炉内的压力为1～10kPa。6.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，镍沉积在带状镍基材表面，经72～120小时后，即得到镍带材。7.根据权利要求1所述的制备镍带材的方法，其特征在于，反应完成后的CO气体由所述热解炉底部排出并进行处理。2CN105463400A说明书1/2页一种化学气相沉积法制备镍带材的方法技术领域[0001]本发明涉及一种制备镍带材的方法，具体涉及一种化学气相沉积法制备镍带材的方法。背景技术[0002]纯金属镍主要用于制备微电子工业溅射靶材及离子镀膜、制造高纯试剂、标样、以及高级合金，广泛应用于电子、化工、军工、航空、航天等领域。目前国内主要的制备方法是以电解镍做主要原料，加入必要的辅助材料，进行冶炼、锻造、轧制等过程。工艺流程为电解镍经过真空感应炉冶炼提纯、浇注、扒皮、加热锻造、方坯、轧制、退火、酸洗等，存在着工艺流程长、操作复杂、技术要求高、能耗高缺点。发明内容[0003]针对上述现有技术存在的问题，本发明提供一种化学气相沉积法制备镍带材的方法，此方法工艺周期短，且能耗低。[0004]上述目的是通过下述方案实现的：一种化学气相沉积法制备镍带材的方法，其特征在于，在该方法中，使用热解炉对带状镍基材进行加热；将液态羰基镍经汽化器汽化，气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中，气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体，镍沉积在带状镍基材表面，即得到镍带材。[0005]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，所述热解炉的带状镍基材的入料口和出料口处设有辊轴，同时，所述热解炉的底部和顶部设置有红外加热装置。[0006]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，带状镍基材的加热温度为140℃～300℃。[0007]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，所述气态羰基镍与CO气体混合的质量比为1：1～4。[0008]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，在制备镍带材的过程中，控制热解炉内的压力为1～10kPa。[0009]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，镍沉积在带状镍基材表面，经72～120小时后，即得到镍带材。[0010]根据上述的制备镍带材的方法，其特征在于，反应完成后的CO气体由所述热解炉底部排出并进行处理。[0011]本发明的有益效果：本发明的化学气相沉积法制备镍带材的方法，具有工艺周期短的优点，操作简单，且能耗低。具体实施方式[0012]本发明用化学气相沉积法制备镍带材，首先使用热解炉对带状镍基材进行加热，3CN105463400A说明书2/2页然后将液态羰基镍经汽化器进行汽化，气态羰基镍与CO气体混合后通入热解炉中，气态羰基镍在带状镍基材表面生成镍和CO气体，镍沉积在带状镍基材表面，即得到镍带材。反应完成后的CO气体由热解炉底部排出并进行收集和处理。其中，在制备镍带材的过程中，对