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一种多晶硅晶体生长炉生长装置及其热源调节方法.pdf
2023-06-18
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雨巷****可歆
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本发明涉及一种多晶硅晶体生长炉生长装置及其热源调节方法，包括晶体生长炉，所述晶体生长炉内设有顶部加热源及四周加热源，顶部加热源连接调功器一，四周加热源连接调功器二。加热过程，调功器一和调功器二改变顶部加热源与四周加热源的功率比例。本发明利用隔热板一方面可以有效降低加热器的无效热损失，降低系统总能量消耗，另一方面，提高坩埚侧挡板外部的温度，降低坩埚内部径向温度梯度。并且隔热板随着隔热笼的上下移动而转动，经过计算验证，隔热板水平放置时隔热效果最好，随着与水平夹角的变大，隔热效果逐渐变差，满足冷凝过程后期温度梯
2023-06-18
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