用于晶体生长炉的加热器组件及其控制方法、晶体生长炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114959881A(43)申请公布日2022.08.30(21)申请号202210557943.9(22)申请日2022.05.19(71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号(72)发明人陈俊宏(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201专利代理师赵丽婷(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图6页(54)发明名称用于晶体生长炉的加热器组件及其控制方法、晶体生长炉(57)摘要本发明公开了一种用于晶体生长炉的加热器组件及其控制方法、晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体和坩埚，坩埚设在炉体内，加热器组件设在炉体内，且包括多个固定加热器和多个活动加热器，固定加热器适于围绕坩埚设置，多个活动加热器沿固定加热器的径向依次设置，且多个活动加热器和多个固定加热器沿固定加热器的径向交替设置，每个活动加热器可沿固定加热器的轴向相对于固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。根据本发明的用于晶体生长炉的加热器组件，可以调整对坩埚轴向上不同区域输出的加热功率，满足了晶体生长炉的不同的热场需求。CN114959881ACN114959881A权利要求书1/2页1.一种用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述晶体生长炉包括炉体和坩埚，所述坩埚设在所述炉体内，所述加热器组件设在所述炉体内，且包括：多个固定加热器，所述固定加热器适于围绕所述坩埚设置；多个活动加热器，多个所述活动加热器沿所述固定加热器的径向依次设置，且多个所述活动加热器和多个所述固定加热器沿所述固定加热器的径向交替设置，每个所述活动加热器可沿所述固定加热器的轴向相对于所述固定加热器在第一高度位置和第二高度位置之间上下移动。2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：多个第一驱动机构，每个所述第一驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的轴向分别独立移动。3.根据权利要求2所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：耐热传动件，所述耐热传动件连接在所述第一驱动机构与对应所述活动加热器之间。4.根据权利要求3所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述固定加热器的轴向上，所述固定加热器的长度大于所述活动加热器的长度，所述耐热传动件的长度大于等于所述固定加热器与所述活动加热器的长度差的最大值。5.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，在所述第一高度位置，所述活动加热器的上端与所述固定加热器的上端齐平，在所述第二高度位置，所述活动加热器的下端与所述固定加热器的下端齐平。6.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器具有多个高度位置，多个所述高度位置包括所述第一高度位置、所述第二高度位置和第三高度位置，所述第三高度位置位于所述第一高度位置和所述第二高度位置之间，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠。7.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，所述活动加热器包括多个加热段和多个连接段，多个所述加热段沿所述固定加热器的周向间隔设置，相邻两个所述加热段通过所述连接段可拆卸相连。8.根据权利要求1‑7中任一项所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，至少一个所述活动加热器可沿所述固定加热器的周向相对于所述固定加热器转动。9.根据权利要求8所述的用于晶体生长炉的加热器组件，其特征在于，还包括：多个第二驱动机构，每个所述第二驱动机构连接在一个所述活动加热器的下端，以使多个所述活动加热器沿所述固定加热器的周向分别独立转动。10.一种加热器组件的控制方法，其特征在于，所述加热器组件为根据权利要求1‑9中任一项所述的用于晶体生长炉的加热器组件，所述加热器组件具有第一工作模式和第二工作模式，在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器的高度不同；在所述第二工作模式下，多个所述活动加热器的高度相同。11.根据权利要求10所述的加热器组件的控制方法，其特征在于，所述活动加热器为三个或三个以上，每个所述活动加热器具有多个高度位置，在所述固定加热器的纵截面上，多个所述高度位置的正投影不重叠，2CN114959881A权利要求书2/2页在所述第一工作模式下，至少一个所述活动加热器与其余所述活动加热器处于不同的高度位置。12.根据权利要求11所述的加热器组件的控制方法，其特征在于，所述第一工作模式具有第一工作状态和第二工作状态，在所述