一种晶体硅及其制备方法.pdf
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一种晶体硅及其制备方法.pdf
本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括:将多晶硅料和掺杂剂加入到铸锭炉或单晶炉的坩埚内,掺杂剂为含有掺杂元素的单质、合金、氧化物和氮化物中的一种或多种;掺杂元素包括硼、镓和锑;多晶硅料中,镓、锑和硼三种元素的原子浓度比为1:(0.15‑0.3):(0.005‑0.1);在保护气体存在下,加热使多晶硅料和掺杂剂完全熔化形成硅熔体,调节晶体硅生长参数,使硅熔体开始长晶,待坩埚内的硅熔体结晶完毕后,得到晶体硅。本发明提供的晶体硅的制备方法,解决了晶体硅的电阻率分布较宽的问题,提高了晶体硅的收率;方便了头尾料的回
一种掺氮晶体硅及其制备方法.pdf
本发明公开了一种掺氮多晶硅锭的制备方法,包括在石英坩埚中装入多晶硅料与粒径为1~100nm的氮化硅纳米粉末以及电活性掺杂剂的混合物并装炉,将炉室抽真空后加热至1420~1550℃,并在该温度保温直至所述混合物完全熔化,得到熔融硅料混合物;接着使所述熔融硅料混合物凝固,得到多晶硅锭,其中所述电活性掺杂剂为B、P、或Ga的任一种,其加入量为使得所形成的多晶硅锭中的电活性掺杂剂浓度为0.02~2ppm的量,所述氮化硅纳米粉末的加入量为使得在所述多晶硅锭中的氮浓度为0.0002~1ppm的量。根据本发明的掺氮多晶
一种基于晶体硅切割废料制备的再生硅及其制备方法.pdf
本发明提供了一种基于晶体硅切割废料制备的再生硅及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)将晶体硅切割废料进行压块成型处理,得到块状硅料;(2)熔化第一渣剂,得到熔渣液;(3)将步骤(1)所得块状硅料持续性投入步骤(2)所得熔渣液中,进行第一熔渣精炼,得到第一精炼渣与溶体硅;(4)混合第二渣剂与步骤(3)所得溶体硅,进行第二熔渣精炼,得到第二精炼渣与再生硅;其中,步骤(1)与步骤(2)不分先后次序;步骤(3)所得第一精炼渣与步骤(4)所得第二精炼渣进行重复利用。本发明克服了废硅粉难熔、硼磷同步去除困难以
一种晶体硅的制备方法及晶体硅.pdf
本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括以下步骤:在晶体硅生长用坩埚内装填硅料,同时向坩埚内放入掺杂剂,并将坩埚放入用于晶体硅生长的炉子内,所述掺杂剂包括硼掺杂剂和铟掺杂剂,硼掺杂剂为含有硼元素的单质、合金和氮化物中的一种或多种,铟掺杂剂为含有铟元素的单质、合金和氮化物中的一种或多种,硼、铟元素在硅料中的原子体积浓度分别为10
一种晶体硅的制备方法及晶体硅.pdf
本发明提供了一种晶体硅的制备方法,包括:将多晶硅料和掺杂剂加入到晶体硅铸锭炉或单晶炉的坩埚内;在保护气体存在下,加热使所述多晶硅料和掺杂剂完全熔化形成硅熔体,调节晶体硅生长参数,使所述硅熔体开始生长晶体,在生长晶体的过程中,当晶体的电阻率达到临界电阻率时,向坩埚内剩余的硅熔体中补加所述多晶硅料形成新的硅熔体,使晶体的电阻率被调控到目标电阻率,所述新的硅熔体继续长晶,待坩埚内的硅熔体结晶完毕后,得到目标收率的晶体硅。本发明的方法可以解决现有技术中制得的晶体硅的电阻率偏低区域较多、电阻率分布不集中、晶体硅收率