一种单晶生长炉用保温筒及其制造方法.pdf
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一种单晶生长炉用保温筒及其制造方法.pdf
本发明提供了一种单晶生长炉用保温筒及其制造方法。本发明提供的保温筒包括依次接触的保温外筒、软毡层和保温内筒,其为复合式的保温筒,设置外筒、软毡层和内筒,形成分体式的保温筒结构,能够改善保温筒的耐用性,且筒体在使用过程中产生破坏或缺陷时,可进行分体拆除和更换即可,而无需将整个保温筒更换,能够延长保温筒使用寿命,大大节约成本。
一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒及其制造方法.pdf
本发明公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒,包括N片炭/炭弧瓣,N片炭/炭弧瓣相邻之间通过榫卯连接结构且沿着圆周方向环绕炭/炭拼接保温筒的轴心线连接,相邻之间的炭/炭弧瓣榫卯连接部位上均设置有M个炭/炭销钉,N片炭/炭弧瓣的一侧均设置有榫头,另一侧均设置有榫槽;本发明还公开了一种单晶硅直拉炉用炭/炭拼接保温筒的制造方法,将炭/炭弧瓣的榫头装入相邻炭/炭弧瓣的榫槽中后安装销钉,经制备涂层和纯化得到炭/炭拼接保温筒。本发明采用榫卯连接结构在拼接接缝处形成阻隔,避免了热量和侵蚀气体对拼接裂缝及保温筒外层装置
一种单晶炉及其上保温筒.pdf
本发明公开了一种单晶炉及其上保温筒,包括:多片弧形石墨片,各弧形石墨片的首尾通过连接件固定,以围成圆筒形结构。由于单片弧形石墨片使用材料尺寸较小,原材料广泛,易于加工,因此可有效降低加工成本。此外弧形石墨片之间可通过可拆卸连接方式进行连接,在使用的过程中,若其中一片弧形石墨片损坏,可单独将其进行更换,无需更换整个上保温筒,因此可有效降低上保温筒的维护成本。
一种单晶炉热场保温筒及其制备方法.pdf
本发明公开了一种单晶炉热场保温筒及其制备方法,属于高温炉用热场材料技术领域。该单晶炉热场保温筒由六瓣保温筒片组合而成,所述保温筒片之间通过凹凸槽切合,所述六瓣保温筒片分为A片和B片,A片和B片各三瓣,间隔交错组合;A片制备工艺为:将炭纤维布、涤纶芳纶混合纤维叠加,浸渍预浸液,然后平铺在模具中,热压固化,炭化;B片制备工艺为:炭纤维布浸渍树脂,平铺在模具中,热压固化,炭化。避免了整体制作过程中易变形,不易生产的缺点,同时其在应用于单晶炉热场时拆装简易,免去了整体保温筒搬运及应用时带来的不便。且组合后的保温筒
单晶硅生长炉用导流筒及其应用.pdf
本发明提供一种单晶硅生长炉用导流筒。该导流筒包括锥形导流内筒和外筒,内筒和外筒之间具有填充保温碳毡的保温层,外筒与保温层之间设有金属钼或钨制备的隔热层。通过锥形内筒吸收来至晶锭的辐射热,并整流气体冷却晶锭,提高晶锭的轴向温度梯度。同时借助导流筒整流气体,提高气体的流速,降低熔体液面处的SiO分压,从而降低熔体中的氧含量。提高晶锭的品质,加快晶体生长速率,降低生产成本。本发明还提供一种借助该导流筒消除石英坩埚壁多晶颗粒的应用方法。