一种改善扩散均匀性的炉管.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106960785A(43)申请公布日2017.07.18(21)申请号201710320463.X(22)申请日2017.05.09(71)申请人无锡赛晶太阳能有限公司地址214200江苏省无锡市宜兴市官林镇工业集中区C区(72)发明人蒋建宝(74)专利代理机构江苏圣典律师事务所32237代理人贺翔(51)Int.Cl.H01L21/225(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种改善扩散均匀性的炉管(57)摘要本发明公开了一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，所述的炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。本发明利用空气动力学原理，通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动，从而深入硅片之间的缝隙中，改善方阻片内均匀性。CN106960785ACN106960785A权利要求书1/1页1.一种改善扩散均匀性的炉管，包括炉管，其特征在于：所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。2.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的炉管，其特征在于，所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成。3.根据权利要求1所述的改善扩散均匀性的炉管，其特征在于，所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。2CN106960785A说明书1/2页一种改善扩散均匀性的炉管[0001]技术领域[0002]本发明属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种改善扩散均匀性的炉管。背景技术[0003]太阳能电池制造的核心工序为扩散工序，随着太阳能电池制造技术的发展，扩散方阻不断升高，同时面对成本的压力，产能的提升，石英舟槽距越来越小对磷源扩散要求也越来越高。传统的扩散方式只能通过减少气体流速、磷源携带量和延长扩散时间，不能很好的解决产能与方阻均匀性。发明内容[0004]本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、操作方便效率高，挥发少，不容易损坏的简便式浆料过滤装置。[0005]本发明所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括石英炉管，所述的炉管内设有镂空螺旋结构体，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。[0006]进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成，可耐高温。[0007]进一步改进，所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。[0008]本发明的工作原理：常规石英管中内壁上，加入螺旋状的石英条，在气体运行过程中，管壁处的磷源受到石英条的阻挡，改变平行于石英管运行的轨迹，向下运行，可以更深入的进入硅片中间，改善片内均匀性。[0009]本发明的有益效果在于：与现有技术相比，本实用操作简单方便，可以节约生产时间和劳动力，大大提高了生产效率，减少了生产成本；利用空气动力学原理，通过增加螺旋结构使五氧化二磷颗粒增加横向移动，从而深入硅片之间的缝隙中，改善方阻片内均匀性。附图说明[0010]图1是本发明的结构示意图。具体实施方式[0011]如图1所示，本发明所述的一种改善扩散均匀性的炉管，包括炉管1，所述的石英炉管内设有镂空螺旋结构体2，所述的镂空螺旋结构体的高度与炉管的内壁直径相等。所述的镂空螺旋结构体为石英材料制成，具有耐高温的优点。[0012]所述的镂空螺旋结构体为螺旋形薄片，该薄片的宽度为1-2cm。[0013]本发明的原理在于，在常规石英管中内壁上加入螺旋状的石英条，在气体运行过程中，管壁处的磷源受到石英条的阻挡，改变平行于石英管运行的轨迹，向下运行，可以更3CN106960785A说明书2/2页深入的进入硅片中间，改善片内均匀性。[0014]以上所述仅是本发明的优选实施方法，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。4CN106960785A说明书附图1/1页图15