一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110042473A(43)申请公布日2019.07.23(21)申请号201910214446.7(22)申请日2019.03.20(71)申请人常州大学地址213164江苏省常州市武进区滆湖路21号常州大学(72)发明人吴王平张屹丁建宁(51)Int.Cl.C30B31/14(2006.01)C30B29/06(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置(57)摘要一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置，该新型石英舟装置结构为内部由10-13个石英舟花篮、若干支杆、左右舟托、四根舟杆所组成。本发明主要目的是提升扩散产能并改善扩散均匀性，采用新型设计的石英舟，可有效地解决产能低，扩散均匀性差，大大提高了产能及电性能良率。CN110042473ACN110042473A权利要求书1/1页1.一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置，其特征在于新型石英舟装置结构为内部由10-13个石英舟花篮222、若干支杆333、左右舟托、四根舟杆所组成。2.根据上述权利要求1所述的石英舟装置，其特征在于舟长111控制在2000-2300mm；其中新型石英舟花篮放由65-75个齿槽组，其花篮齿距上部10宽度控制在10-15mm，距下部宽度40控制在15-20mm，两齿距离20控制在2-3mm，两齿间距30控制在1-2mm，花篮长度55控制在200-220mm，花篮提手60半径控制在20-30mm。3.根据上述权利要求1所述的石英舟装置，其特征在于花篮的上部顶盖边长a1、a2控制在170-190mm，花篮边卡口a4宽度控制在10-12mm，花篮提手a3宽度控制在10-20mm。4.根据上述权利要求1所述的石英舟装置，其特征在于花篮的下部顶盖边长1、2控制在170-190mm，定位点3半径控制在7-10mm，花篮边卡口4宽度控制在10-12mm，两定位点间距5控制在120-140mm，大定位点8半径控制在10-12mm，定位点8距花篮边水平间距6控制在85-95mm，距花篮边垂直间距7控制在60-70mm。5.根据上述权利要求1所述的石英舟装置，其特征在于石英舟底部是由10-13个底座A4组成，可有效的固定住花篮，防止被气流吹偏，其中大定位点A1半径控制在8-9mm，高度控制在4-6mm，定位点A2和A3半径控制在4-6mm，高度控制在4-6mm。2CN110042473A说明书1/2页一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置技术领域[0001]本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置。背景技术[0002]清洁能源成为了当前时代发展的必然趋势。对于太阳能电池行业，目前已大批量量产的技术是高效晶硅钝化发射极和背面电池，即PERC(PassivatedEmitterandRearCell)电池。可量产达到的效率也仅22%，遇到了效率的瓶颈阶段。随着晶硅行业的不断发展，追求高效低成本的产品成为必然趋势。新型产品如PERC、N型、IBC等高效电池，对于扩散设备需求较高，需具有高精准度等特点，而高精准度的需求需高配置进而提升了成本，违背低成本的理念。故需提升扩散产能进而达到单片成本降低的目的。目前常规上使用的石英舟侧面图如附图1所示，内部是由左右舟托、四根舟杆、若干卡槽所组成，其中石英舟长度100控制在1320-1350mm范围内；石英舟左部分放大图如附图2所示，其中卡槽间距200控制在2.3-2.6mm，角度300控制在4°。[0003]本发明在原来的石英舟基础上进行改造，采用改造后的石英舟，可提升产能50%，且有效地改善均匀性，大大提高了产能及电性能良率。发明内容[0004]本发明公开了一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置，该新型石英舟装置结构为内部由10-13个石英舟花篮（标识222）、若干支杆（标识333）、左右舟托、四根舟杆所组成，其中舟长111控制在2000-2300mm；其中新型石英舟花篮放由65-75个齿槽组，其花篮齿距上部10宽度控制在10-15mm，距下部宽度40——控制在15-20mm，左边两齿距离20——控制在2-3mm，右边两齿间距30——控制在1-2mm，花篮长度50——控制在200-220mm，花篮提手60——半径控制在20-30mm；另外，花篮的上部顶盖边长a1、a2——控制在170-190mm，花篮边卡口a4——宽度控制在10-12mm，花篮提手a3宽度——控制在10-20mm；花篮的下部顶盖边长1、2——控制在170-190mm，定位点3——半径控制在7-10mm，花篮边卡口4——宽度控制在10-12mm，