一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115274924A(43)申请公布日2022.11.01(21)申请号202210856593.6(22)申请日2022.07.20(71)申请人无锡松煜科技有限公司地址214000江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房(72)发明人陈庆敏李丙科张海洋(74)专利代理机构江苏漫修律师事务所32291专利代理师熊启奎周晓东(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/223(2006.01)H01L21/67(2006.01)H01L21/673(2006.01)C30B31/16(2006.01)C30B31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法(57)摘要本发明公开了一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，在工艺腔内的进气方式采用炉尾进气，炉口抽气的方式，工艺气体流动从炉尾向炉口方向；石英舟托上依次放置舟托匀流板和石英舟，舟托匀流板上开设有若干个按顺序均匀排布的小孔，在炉腔一端内靠近进气管出气口的位置放置炉内匀流板。本发明在靠近进气管出气口的位置，放置有一个炉内匀流板，当工艺气体通过炉内匀流板时气体被打散的更均匀，可以使工艺气流与硅片接触的更均匀，同时避免了气体绕流对工艺的影响，能极大的改善扩散方阻均匀性和稳定性。CN115274924ACN115274924A权利要求书1/1页1.一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：在工艺腔内的进气方式采用炉尾进气，炉口抽气的方式，工艺气体流动从炉尾向炉口方向；石英舟托(1)上依次放置舟托匀流板(2)和石英舟(3)，舟托匀流板(2)上开设有若干个按顺序均匀排布的小孔，在炉腔一端内靠近进气管(4)出气口的位置放置炉内匀流板(5)。2.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：石英舟托(1)包括前端板、后端板、左侧栏、右侧栏，前端板、后端板位于左侧栏和右侧栏的两端并与两个侧栏垂直连接，在前端板处和后端板处分别对应设置舟托匀流板(2)，舟托匀流板(2)与前端板、后端板方向平行。3.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：舟托匀流板(2)为单层匀流板或者平行间隔设置的多层匀流板，多层匀流板的间距为5‑30mm。4.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：舟托匀流板(2)与靠近进气端的第一个石英舟(3)之间的距离为80mm‑300mm。5.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：炉内匀流板(5)上开设有若干个按顺序均匀排布的小孔。6.根据权利要求5所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：小孔的形状为圆孔、菱形孔或者方孔，小孔为圆孔时直径为6‑20mm。7.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：炉内匀流板(5)为单层圆形板或者平行间隔设置的多层圆形板，面向进气管(4)出气方向设置，并设有板托架。8.根据权利要求7所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：炉内匀流板(5)为单层圆形板时，采用具有深度的筒状结构。9.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：石英舟(3)包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆，横杆分为上下两排，横杆采用水平设置或者与水平方向倾斜设置，倾斜角度θ为2°～10°；上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽，卡槽为矩形齿槽或者向两侧张开角度呈︺字形槽。10.根据权利要求1所述的改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法，其特征在于：硅片放置时处于竖直状态，与炉口截面垂直，气流穿插式流过硅片表面。2CN115274924A说明书1/3页一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法技术领域[0001]本发明涉及光伏电池制造技术领域，尤其是一种改善扩散方阻均匀性和稳定性的方法。背景技术[0002]太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。在光伏电池的制备过程中，在工艺炉（比如扩散炉或沉积炉）中需要有承载硅片的舟体，并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内，石英舟是一种常用的载片工具。现有的石英舟采用横插式放片方式，适用于硅片平行于炉口截面方向放置，在相同口径条件下，这样放置硅片的数量较低，不能充分利用炉口空间。如果采用竖插式，将硅片垂直于炉口截面方向，将硅片的支撑杆设置在硅片的上下两侧，可以放入更多的硅片。在工艺过程中工艺气体和硅片表面的接触越充分，工艺效果越是显著，因此，石英舟的放置要尽可能的对工艺气流匀流，工艺气流均匀有利于改善扩散方阻均匀性和稳定性。发明内容[0003]本申请人针对上述现有技术中这些缺点，提供一种改善扩散方