水冷结构无焊缝且加热体易更换的原子炉.pdf
骊蓉****23
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相关资料
水冷结构无焊缝且加热体易更换的原子炉.pdf
本发明公开了一种水冷结构无焊缝且加热体易更换的原子炉,包括隔热屏,隔热屏外部套设壳体,壳体上下端面分别设置有上端盖和底座;过渡挡板设置于上端盖的挡板槽内,坩埚组件设置于过渡挡板的坩埚槽内,加热体组件设置于隔热屏中间空隙中;侧壁水冷管路和上下端面水冷管路均缠绕于壳体外部;第一水冷电极和第二水冷电极分别与加热体组件左右两个加热体引出部连接。本发明采用水冷盘管结构,保证原子炉位于真空室内的部分无焊接水冷结构,提高水冷结构的可靠性;加热体结构设计方便更换;金属隔热屏分块交错布置,提高热屏蔽效果,同时防止隔热屏局部
无焊缝式水冷坩埚.pdf
本发明公开了一种无焊缝式水冷坩埚,包括,坩埚,其顶部形成有物料池,底部向内凹陷地形成有水槽,座板,与所述的坩埚底部固定连接并将所述的水槽下端口封闭,所述的座板与所述的水槽的端部对应处设置有进水孔和出水孔;其中,在所述的水槽内固定设置有导流立柱,所述的导流立柱上端或下端形成有过流孔以使所述的水槽与过流孔配合构成上下迂回式水道。本发明的水冷坩埚,在坩埚底部设置水槽且该水槽由座板将水槽的下端面封闭形成腔式水道,同时在水道内设置导流立柱,该导流立柱将水道阻断只留有过流孔,相邻的两导流立柱的过流孔成上下交错配置,即
具有可更换加热体结构的加热烟具.pdf
本实用新型公开了一种具有可更换加热体结构的加热烟具,包括烟具主体(1)和烟支提取器(2),所述烟具主体(1)的顶部具有加热仓(3),加热体通过螺纹安装在所述加热仓(3)内的底部,所述烟支提取器(2)与所述加热仓(3)套接连接,所述烟支提取器(2)的下端与所述烟具主体(1)的顶端连接,所述烟支提取器(2)内的底部具有除垢板(4)。本实用新型能够对加热体进行清洁,且可以更换加热体,实现适配不同规格的加热不燃烧烟支。
水冷的发热体电极装置.pdf
本发明提供了一种水冷的发热体电极装置,涉及CVD气相沉积炉制造技术领域,解决了现有技术存在的水冷发热体电极,冷却效果较差,容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。该水冷的发热体电极装置包括铜电极以及进水管,其中:铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构,铜电极开口端的管壁上设置有出水口;进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端,进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接,所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道;铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。本发明用于提高冷却水对铜电极的冷却效果,延长铜电极的使用寿
加热炉蓄热体更换工具.pdf
本发明提供了一种加热炉蓄热体更换工具,所述加热炉蓄热体更换工具包括顶板、立板、底板以及推拉件,所述立板设于所述顶板的底部后侧;所述底板设于所述立板的底部,所述立板与所述底板之间连接有可拆卸定位件;所述推拉件设于所述底板的后侧,所述推拉件包括拉杆以及推杆,所述拉杆的一端转动连接于所述底板,所述推杆的一端滑动连接于所述拉杆,另一端转动连接于所述立板;初始状态时,所述底板、所述立板以及所述顶板围合形成用于承托蓄热体的空腔,且所述底板和所述顶板上下夹紧所述蓄热体。本发明提供的加热炉蓄热体更换工具可以同时完成多个蓄