水冷的发热体电极装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114921774A(43)申请公布日2022.08.19(21)申请号202210543848.3(22)申请日2022.05.19(71)申请人天津得瑞伯机电设备有限公司地址300450天津市滨海新区天津经济技术开发区西区中南五街92号内厂房(72)发明人张余(74)专利代理机构北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471专利代理师陈义(51)Int.Cl.C23C16/54(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称水冷的发热体电极装置(57)摘要本发明提供了一种水冷的发热体电极装置，涉及CVD气相沉积炉制造技术领域，解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。该水冷的发热体电极装置包括铜电极以及进水管，其中：铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。本发明用于提高冷却水对铜电极的冷却效果，延长铜电极的使用寿命。CN114921774ACN114921774A权利要求书1/1页1.一种水冷的发热体电极装置，其特征在于，包括铜电极以及进水管，其中：所述铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，所述铜电极开口端的管壁上设置有出水口；所述进水管从所述铜电极的开口端插接至所述铜电极的封闭端，所述进水管在所述铜电极的开口端与所述铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；所述铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。2.根据权利要求1所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述铜电极外围包覆有绝缘胶木。3.根据权利要求2所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述绝缘胶木的两端设置有绝缘胶圈。4.根据权利要求1所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述进水管的一端设置有可拆卸连接的铜宝塔。5.根据权利要求1所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述电极铜夹包括第一电极铜夹和第二电极铜夹，所述第一电极铜夹的深度长于所述第二电极铜夹的深度。6.根据权利要求1所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，还包括与所述铜电极固定连接的电极紧固环。7.根据权利要求6所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述电极紧固环上设置有法兰盘。8.根据权利要求1所述的水冷的发热体电极装置，其特征在于，所述出水口的内径小于所述进水管的内径。2CN114921774A说明书1/4页水冷的发热体电极装置技术领域[0001]本发明涉及CVD气相沉积炉制造技术领域，尤其是涉及一种水冷的发热体电极装置。背景技术[0002]在CVD气相沉积炉制造技术领域中，水冷发热体铜电极运行在高温和有高压电流通过的情况下，需要通过对铜电极的内部导入循环冷却水的方式来降低铜电极的温度，保证铜电极在高温的环境下也能正常工作。[0003]本申请人发现：在现有冷却方式中，冷却水一般未能完全流经铜电极的内部或只流过铜电极表面，冷却效果不够好，影响铜电极的使用寿命。[0004]综上所述，现有技术至少存在以下技术问题：[0005]现有技术提供的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命。发明内容[0006]本发明的目的是提出一种水冷的发热体电极装置，解决了现有技术存在的水冷发热体电极，冷却效果较差，容易缩短铜电极的使用寿命的技术问题。[0007]为实现上述目的，本发明提供了以下技术方案：[0008]本发明提供实施例的水冷的发热体电极装置，包括铜电极以及进水管，其中：[0009]铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜电极开口端的管壁上设置有出水口；进水管从铜电极的开口端插接至铜电极的封闭端，进水管在铜电极的开口端与铜电极为过盈配合连接，所属进水管和所属铜电极之间形成水冷通道；铜电极的封闭端向外延伸设置有电极铜夹。[0010]在可选地实施例中，铜电极外围包覆有绝缘胶木。[0011]在可选地实施例中，绝缘胶木的两端设置有绝缘胶圈。[0012]在可选地实施例中，进水管的一端设置有可拆卸连接的铜宝塔。[0013]在可选地实施例中，电极铜夹包括第一电极铜夹和第二电极铜夹，第一电极铜夹的深度长于第二电极铜夹的深度。[0014]在可选地实施例中，还包括与铜电极固定连接的电极紧固环。[0015]在可选地实施例中，电极紧固环上设置有法兰盘。[0016]在可选地实施例中，出水口的内径小于进水管的内径。[0017]基于上述技术方案，本发明实施例至少可以产生如下技术效果：[0018]本发明提供的水冷的发热体电极装置，其铜电极为一端开口另一端封闭的中空管状结构，铜