无焊缝式水冷坩埚.pdf
Ro****44
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无焊缝式水冷坩埚.pdf
本发明公开了一种无焊缝式水冷坩埚,包括,坩埚,其顶部形成有物料池,底部向内凹陷地形成有水槽,座板,与所述的坩埚底部固定连接并将所述的水槽下端口封闭,所述的座板与所述的水槽的端部对应处设置有进水孔和出水孔;其中,在所述的水槽内固定设置有导流立柱,所述的导流立柱上端或下端形成有过流孔以使所述的水槽与过流孔配合构成上下迂回式水道。本发明的水冷坩埚,在坩埚底部设置水槽且该水槽由座板将水槽的下端面封闭形成腔式水道,同时在水道内设置导流立柱,该导流立柱将水道阻断只留有过流孔,相邻的两导流立柱的过流孔成上下交错配置,即
一种环形水冷铜坩埚.pdf
本发明涉及一种环形水冷铜坩埚,包括环形主体结构、外电磁加热器、内电磁加热器、环形上盖、环形下盖,所述环形主体结构外侧固定外电磁加热器,内侧固定内电磁加热器,环形主体结构的上端面连接环形上盖,底部固定连接环形下盖。坩埚外壁和坩埚内壁在顶部通过与循环水冷却结构固定连接,内部形成循环冷却水回路,散热效果好,坩埚内外壁均产生电磁搅拌,与炉料非接触,所得炉料搅拌均匀无污染;坩埚外壁和坩埚内壁在底部通过加强筋焊接固定,形成双层锥面结构,双层锥面结构均产生电磁悬浮力,炉料悬浮效果好;内外电磁加热器,磁场强度大,加热速度
水冷结构无焊缝且加热体易更换的原子炉.pdf
本发明公开了一种水冷结构无焊缝且加热体易更换的原子炉,包括隔热屏,隔热屏外部套设壳体,壳体上下端面分别设置有上端盖和底座;过渡挡板设置于上端盖的挡板槽内,坩埚组件设置于过渡挡板的坩埚槽内,加热体组件设置于隔热屏中间空隙中;侧壁水冷管路和上下端面水冷管路均缠绕于壳体外部;第一水冷电极和第二水冷电极分别与加热体组件左右两个加热体引出部连接。本发明采用水冷盘管结构,保证原子炉位于真空室内的部分无焊接水冷结构,提高水冷结构的可靠性;加热体结构设计方便更换;金属隔热屏分块交错布置,提高热屏蔽效果,同时防止隔热屏局部
一种水冷铜坩埚的测温系统.pdf
本发明公开了一种水冷铜坩埚的测温系统,包括由多个分瓣体组成的铜坩埚,各分瓣体分别设有水冷通道;各分瓣体的外壁上分别设有凸台,各凸台分别设有与对应水冷通道相连通的螺纹通孔;各螺纹通孔分别配有与其螺纹配合的导热螺杆,各导热螺杆锁入对应的螺纹通孔,导热螺杆贯穿与其对应的螺纹通孔,且导热螺杆与对应螺纹通孔的间隙填充有隔热密封胶;各导热螺杆的外端部分别连接有温度传感器,各温度传感器分别与温度监控装置连接。本发明水冷铜坩埚的测温系统,其能对每个分瓣体水冷通道内的水温进行独立检测。
具备改进的水冷却结构的坩埚轴.pdf
本发明涉及硅单晶生产的单晶炉设备,旨在提供一种具备改进的水冷却结构的坩埚轴。该坩埚轴的前端具备与热场石墨轴端部相适应的外部形状,坩埚轴的后端沿轴向设置冷却水的进水管和出水管;坩埚轴的内部设有一个空腔,该空腔的存在使得坩埚轴呈空心的壳体状结构;进水管或出水管延伸至空腔中,且在其延伸段末端外沿环设一挡水板,使得挡水板与坩埚轴前端壳体之间、挡水板与坩埚轴侧面壳体之间成为冷却水的流动通道。在原有坩埚轴的基础上,对坩埚轴的内部冷却水流通水路的结构作了合理的优化,坩埚轴冷却效率由原来的30%提高至80%,坩埚轴使用过