一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107447196A(43)申请公布日2017.12.08(21)申请号201710502858.1(22)申请日2017.06.27(71)申请人樊召地址518101广东省深圳市宝安区松岗镇沙浦围第一工业区11栋(72)发明人樊召(74)专利代理机构广州市红荔专利代理有限公司44214代理人吴世民(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法(57)摘要本发明公开了一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法，包括以下步骤：步骤一：在左端真空炉体中的左炉工件架上装好被镀工件，打开工件架旋转，使工件架以每分钟1~4转的公转速度旋转，关好左端真空炉体门，对左端真空炉体进行抽气，真空度达到0.05~0.02Pa，同时对工件进行加热到温度为100~160度。右端真空炉体同样完成此项工作。本发明步骤简单、合理，可与复合真空镀膜机配合，实现快速、高品质的工件镀膜加工。CN107447196ACN107447196A权利要求书1/1页1.一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：在左端真空炉体中的左炉工件架上装好被镀工件，打开工件架旋转，使工件架以每分钟1~4转的公转速度旋转，关好左端真空炉体门，对左端真空炉体进行抽气，真空度达到0.05~0.02Pa，同时对工件进行加热到温度为100~160度；右端真空炉体同样完成此项工作；步骤二：对左端真空炉体充入工作气体氩气，使真空度保持在1~3Pa，对工件架系统施加-200V~-500V偏压，根据工件大小及数量调节偏压大小，使工件表面形成辉光放电，保持3~30分钟加压时间，对工件进行辉光清洗处理；步骤三：调节氩气充入量使真空度保持在0.02~0.08Pa，偏压调节到-100V~-400V，依次打开电弧源，电弧源溅射材料为铬或钛中的一种，电弧电流控制在35~100A，每个电弧工作1~5分钟，根据工件大小及数量调节电弧电流的大小以保证清洗效果；步骤四：完成清洗工作后关闭电弧源，停止氩气充入，关闭工件偏压及工件旋转；打开左端真空炉与高真空炉体间的左插板阀，将在左端真空炉体中的工件架运送到高真空炉体并关闭插板阀，打开工件架旋转，准备进行镀膜；步骤五：保持高真空炉体真空度达到0.02~0.002Pa，充入工作气体氩气使真空度保持在0.1~0.8Pa，工件架施加-60V~-200V偏压，打开第一种膜层磁控溅射源中频电源，电流控制在10~50A范围内，使磁控源工作，对工件进行金属层镀膜，镀膜时间为3~60分钟；可在镀膜过程中加入不同的反应气体，得到不同的反应膜层，完成真空镀膜一层；步骤六：重复步骤五的操作，完成真空镀膜二层；步骤七：关闭磁控溅射源，关闭所有充入气体，关闭偏压及工件架旋转；步骤八：打开左端炉体与高真空炉体间的插板阀，将高真空炉体中的左炉工件架运送到左端真空炉体后关闭插板阀；步骤九：打开左炉工件架旋转，充入氩气至真空度0.02~0.06Pa，打开左端真空炉体的左炉磁控溅射源，电流为5~20A，镀膜时间为2~30分钟，完成真空镀膜三层，对左端真空炉体恢复大气压，取出镀好的工件，重复步骤一工作，完成左端真空炉体一次镀膜；左端真空炉在完成步骤九时，右端真空炉体同样对应完成左端真空炉体完成的步骤二至步骤九，完成右端真空炉体一次镀膜。2.如权利要求1中所述的一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法，其特征在于：步骤九中，可以充入氩气至真空度0.02~0.06Pa，打开电弧源，电流为40~100A，镀膜时间为2~15分钟，完成真空镀膜三层。2CN107447196A说明书1/3页一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法技术领域[0001]本发明涉及一种工件表面多层镀膜工艺，具体的说是一种基于复合真空镀膜机的镀膜方法。背景技术[0002]目前应用的真空镀膜设备特别是五金离子镀膜设备都采用单个真空腔体，在腔体中设置溅射源，每次装料卸料都将腔门打开进行操作。操作过程必须经过：抽真空-溅射镀膜-恢复大气三个步骤，整个周期大部分时间用在抽气、前处理、冷却、上下工件这些过程，设备的利用率很低。这种操作过程每个循环真空炉体都将暴露大气，靶材与大气接触将会导致靶材的氧化，腔体会吸附大量的水蒸气及其它杂气，对第二次抽真空带来不便同时会降低镀膜质量和稳定性，对大批量和高要求生产带来不利，目前需要完成复杂的多种膜层同时完成的镀膜工艺无法很好的在同一台机器上一次完成。目前，出现了，复合真空镀膜机，即具备有多腔体，可以一个设备内完成多工序的镀膜设置，但目前的镀膜工艺无法应用在复合真空镀膜机上，即便使用，其镀膜完成效果仍差于一般镀膜设备的