微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法.pdf
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微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法.pdf
微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法,属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通,氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通,进气针阀固定在真空反应室炉盖上,压力控制装置与真空反应室连通,电极组件固定在真空反应室内,工作台设置在真空反应室内,微刀具固定在工作台上,两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接,热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片,红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部,冷水机外接有四根冷水管,其中两根与真空反应室的炉盖连通,其余两根与真空反应室的炉体连通,真空
化学气相沉积法涂层装置.pdf
本发明创造涉及化学气相沉积法涂层装置。采用的技术方案是:包括反应炉,反应炉内设有支撑筒,支撑筒上端设有排气帽,反应炉和支撑筒之间为尾气通道,支撑筒内从上到下依次为沉积区、气体分配区和预热区;沉积区内:设有若干托盘),托盘上设有若干通气孔Ⅰ;气体分配区内:支架Ⅰ固定挡板,挡板上端安装至少三层隔板,支架Ⅱ固定隔板,隔板上设有若干通气孔Ⅱ;预热区内:安装若干层预热板,进气管的出口端与气体分配区相通,支撑筒在预热区部位的下端设有尾气入口,预热区的下端设有尾气出口。还设有加热炉,反应炉置于加热炉内。采用本发明创造的
热丝化学气相沉积金刚石薄膜涂层刀具附着力的研究.docx
热丝化学气相沉积金刚石薄膜涂层刀具附着力的研究热丝化学气相沉积金刚石薄膜涂层刀具附着力的研究摘要:金刚石薄膜涂层具有优异的硬度和耐磨性,使其成为刀具表面涂层的理想选择。本研究采用热丝化学气相沉积方法制备金刚石薄膜,并对其附着力进行研究。通过测量薄膜与基底之间的剪切强度和界面结构,评估了金刚石薄膜涂层的附着力。实验结果表明,适当的沉积条件可以改善金刚石薄膜的附着力。此外,通过控制基底表面的粗糙度和氧化层的形成,也可以增强薄膜的附着力。这些研究结果对于优化金刚石薄膜涂层在刀具上的应用具有重要意义。关键词:热丝
抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法.pdf
本发明提供抽气装置、低压化学气相沉积设备以及化学气相沉积方法。一种抽气装置,用于抽取低压化学气相沉积设备的炉管内的气体,其特征在于,所述抽气装置包括:并联的第一阀、第二阀和第三阀,其通过导管与炉管的排气口相连;抽气泵,其通过导管与第一至第三阀相连,其中第一阀、第二阀和第三阀分别与抽气泵一起工作用于降低炉管内气压且降低炉管内气压的速率依次递减。利用本发明可以改善现有的低压化学气相沉积设备内颗粒污染较为严重的问题。
等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究.docx
等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用研究摘要:随着制造业和机械加工领域的发展,高效的切削工具对提高加工质量、缩短加工周期、降低生产成本起着至关重要的作用。而涂层技术作为提高刀具性能和加工效率的关键技术之一,近年来受到了广泛的研究与应用。本文针对等离子体化学气相沉积TiN涂层刀具的应用进行了研究,并总结了其优点和不足,对其未来可能的研究方向进行了展望。1.引言切削工具是实现金属加工的关键装备之一,在机械加工领域有着广泛的应用。高效的切削工具能够显著提高加工质量