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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107740067A(43)申请公布日2018.02.27(21)申请号201710900693.3(22)申请日2017.09.28(71)申请人哈尔滨工业大学地址150000黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号(72)发明人白清顺白锦轩刘顺何欣余天凯杜云龙王永旭(74)专利代理机构哈尔滨龙科专利代理有限公司23206代理人高媛(51)Int.Cl.C23C16/27(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图6页(54)发明名称微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法(57)摘要微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置及方法,属于金刚石薄膜化学气相沉积制备技术领域。真空泵通过真空针阀与真空反应室连通,氢气瓶、氩气瓶和甲烷瓶与混合箱连通,进气针阀固定在真空反应室炉盖上,压力控制装置与真空反应室连通,电极组件固定在真空反应室内,工作台设置在真空反应室内,微刀具固定在工作台上,两根电缆线从加热电源处引出并与电极组件连接,热电偶的探头端部贴有硬质合金薄片,红外测温仪通过其自带的支架设置于真空反应室外部,冷水机外接有四根冷水管,其中两根与真空反应室的炉盖连通,其余两根与真空反应室的炉体连通,真空表安装在真空反应室的炉盖上。本发明用于微刀具金刚石涂层的化学气相沉积。CN107740067ACN107740067A权利要求书1/2页1.一种微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:其由供气系统、温度控制系统、真空反应系统组成,所述的供气系统包括氢气瓶(1)、氩气瓶(2)、甲烷瓶(3)、气体混合箱(4)、进气针阀(14),所述的温度控制系统包括加热电源(5)、热电偶显示表(6)、红外测温仪(7)、电极组件(16)、工作台(17)、热电偶(20)、补偿导线(21);所述的真空反应系统包括真空反应室(8)、工作台基座(10)、压力控制装置(11)、冷水机(12)、真空泵(13)、真空表(15)、真空针阀(19);所述的真空泵(13)通过真空针阀(19)与真空反应室(8)连通,所述的真空反应室(8)固定在工作台基座(10)上方,真空泵(13)固定在工作台基座(10)内底部,所述的氢气瓶(1)、氩气瓶(2)和甲烷瓶(3)通过软管、进气针阀(14)与混合箱(4)连通,所述的进气针阀(14)固定在真空反应室(8)炉盖上,进气针阀(14)与真空反应室(8)连通,所述的压力控制装置(11)与真空反应室(8)连通,所述的电极组件(16)固定在真空反应室(8)内,电极组件(16)上固定有三根热丝,所述的工作台(17)设置在真空反应室(8)内,微刀具插入工作台(17)上的石墨套中,并通过紧定螺钉固定在工作台(17)上,所述的加热电源(5)固定在工作台基座(10)上,加热电源(5)与两根电缆线一端相连,所述的两根电缆线另一端与电极组件(16)连接,所述的热电偶(20)设置在热电偶固定台上,所述的热电偶固定台设置在真空反应室(8)内,热电偶(20)的探头端部贴有硬质合金薄片,所述的补偿导线(21)一端连接在热电偶(20)上,补偿导线(21)另一端与热电偶显示表(6)相连,所述的热电偶显示表(6)设置在真空反应室(8)外部,所述的红外测温仪(7)通过自带的支架安装于真空反应室(8)外部,所述的冷水机(12)外接有四根冷水管,其中两根所述的冷水管与真空反应室(8)的炉盖的水槽连通,其余两根冷水管与真空反应室(8)的炉体的水通道连通,所述的真空表(15)安装在真空反应室(8)的炉盖上。2.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置还包括防尘罩(9);所述的防尘罩(9)扣装在真空反应室(8)上。3.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的真空针阀(19)通过卡箍(18)、KF外螺纹转接头及KF接头与真空反应室(8)相连接。4.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的氢气瓶(1)、氩气瓶(2)、甲烷瓶(3)上均安装有减压阀。5.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的三根热丝采用空间水平平行排布方式。6.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的电极组件(16)经由KF法兰和KF接头进入真空反应室(8),所述的KF法兰和KF接头通过卡箍(18)和O型密封圈连接。7.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的热电偶(20)为K型热电偶。8.根据权利要求1所述的微刀具金刚石涂层的化学气相沉积装置,其特征在于:所述的红外测温仪(7)采用雷泰马拉松的MR1SCSF双色红外测温