一种用于直拉单晶炉电极装置.pdf
甲申****66
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一种用于直拉单晶炉电极装置.pdf
本发明公开了一种用于直拉单晶炉电极装置,主要内容为:包括炉底、铜电极、碳膜、石墨螺丝、加热器和石墨电极;所述铜电极底端固定安装在炉底上,石墨电极中心轴线上靠近底端设有螺纹孔,铜电极顶端安装在石墨电极的底端螺纹孔内,石墨电极的高度为120mm,碳膜中心设有安装孔,碳膜安装在石墨电极的顶面上,石墨电极中心轴线上靠近顶端设有螺纹孔,加热器通过石墨螺丝固定安装在碳膜的顶面上且其底部安装在石墨电极靠近顶端的螺纹孔内,石墨电极靠近上端螺纹孔与靠近下端螺纹孔通过直径为10mm的圆柱孔相通。
用于直拉硅单晶炉的热屏装置.pdf
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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
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直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
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一种直拉单晶炉加料装置.pdf
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