一种蓝宝石长晶炉的发热体及长晶炉.pdf
书生****22
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一种蓝宝石长晶炉的发热体及长晶炉.pdf
本发明公开了一种蓝宝石长晶炉的发热体,包括若干金属加热杆、正极水冷金属环、负极水冷金属环、金属底环;其中两个相邻的金属加热杆分别独立连接正极水冷金属环和负极水冷金属环,能够使得相邻金属加热杆的电流方向相反,电流产生的侧向电磁力相互抵消,避免出现金属加热杆侧向变形严重的问题。
蓝宝石长晶炉.pdf
本发明提供一种蓝宝石长晶炉,包括环形的内加热器和外加热器以及均匀设置在所述内加热器与外加热器之间的多个坩埚,所述坩埚底部设有冷却装置,所述内加热器和外加热器的功率为可控的。本发明提供的一种蓝宝石长晶炉,采用两种不同直径的环形钨加热器,将钨坩埚置于两环形加热器之间,且均匀对称分布,每只坩埚底部均设置冷却装置,通过控制加热器的功率和冷却介质的流量及温度,形成稳定的温场和热场,从而极大地提高了蓝宝石长晶材料的利用率和大尺寸晶体的成晶率,降低了生产成本。
蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺.pdf
本发明公开了一种蓝宝石长晶炉热场及设有该热场的长晶炉及其长晶工艺,其中蓝宝石长晶炉热场的钨筒的坩埚被坩埚支架支撑设置,因坩埚支架与钨筒之间设有下隔热钼屏,下隔热钼屏上设有氧化锆纤维板,使热场的温度梯度一致。还包括籽晶夹头组件,该籽晶夹头组件的籽晶杆悬挂在加热笼组件内,并伸入坩埚内,使籽晶的提拉时也能够保持热场的密封性,也保证了温度梯度的一致性。温度梯度良好使晶体的质量高,位错密度小,晶体晶界少、气泡少。而蓝宝石长晶炉,因其设有本发明的热场,使其能够生产出优质的晶体,因温度梯度一致,使其生产效率高,能够节省
长晶炉进气结构及长晶炉.pdf
本发明涉及晶体生长设备领域,公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉,所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖,炉体设有具有开口的反应腔体,端盖用于封闭开口,端盖设有测温通道,测温通道的一端与反应腔体连通,另一端设有测温窗,测温通道的通道壁设有用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口。通过上述技术方案,在端盖的测温通道设置用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口,第二进气口的进气从测温通道进入反应腔体,在流动过程中能够将已经进入测温通道的挥发物吹回至反应腔体内,并同时能够阻挡反应腔体内的挥发物进入测温通道,从而避免挥发物
长晶炉内监测方法及长晶炉.pdf
本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉,该方法包括:接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据;第一图像数据为单晶硅棒的图像数据;第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据;第三图像数据为坩埚的图像数据;接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据;尺寸数据包括:单晶硅棒的直径数据;接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据;接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息;根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像;按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系,存放各坐标点对应的环境信息