单晶炉的自动加料装置及其操作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108103568A(43)申请公布日2018.06.01(21)申请号201711388259.8(22)申请日2017.12.20(71)申请人江苏拜尔特光电设备有限公司地址214265江苏省无锡市芳桥镇工业集中区(72)发明人袁玉平(74)专利代理机构常州市江海阳光知识产权代理有限公司32214代理人翁坚刚汤志和(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书3页说明书11页附图7页(54)发明名称单晶炉的自动加料装置及其操作方法(57)摘要本发明涉及一种单晶炉的自动加料装置及其操作方法，所述自动加料装置包括称重机构、主控制器、加料机构和储料箱；加料机构包括料箱、电机、转轴和挡板；料箱上具有进料口和出料口；转轴转动连接在料箱上且与电机的输出轴固定连接，转轴的轴向中部的周缘上具有开口，开口径向向内延伸形成舱口；所述挡板固定连接在料箱上且靠紧在转轴的轴向中部的周缘上；所述储料箱固定连接在料箱的进料口处且与该进料口连通。所述电机和称重机构均与主控制器电连接或者无线信号连接。采用本发明的自动加料装置的单晶炉在进行单晶棒的连续拉制过程中，坩埚内的液体硅料在连续加料中液面保持平稳、晶体能稳定生长，不会出现多晶生长现象。CN108103568ACN108103568A权利要求书1/3页1.一种单晶炉的自动加料装置，包括储料箱（2）和第一阀门（4）；其特征在于：还包括称重机构（1）、加料机构（3）和主控制器（8）；所述的加料机构设有保护性气体接入口和抽真空接口，且加料机构（3）包括料箱（30）、电机（31）、转轴（32）、挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）；所述的料箱（30）具有箱体（30-2）、位于上方的进料管（30-4）和位于下方的出料管（30-5），且进料管（30-4）和出料管（30-5）均与箱体（30-2）的内腔相连通；进料管（30-4）密闭设置在箱体（30-2）上或通过其它密封件密闭设置在箱体（30-2）上；出料管（30-5）密闭设置在箱体（30-2）上或通过其它密封件密闭设置在箱体（30-2）上；所述电机（31）由其机座直接固定连接在料箱（30）上或固定连接在其他固定结构件上；所述转轴（32）转动连接在料箱（30）上，且转轴（32）的主体位于料箱（30）的箱体（30-2）中，并且位于进料管（30-4）与出料管（30-5）之间；转轴（32）的左端与电机（31）的输出轴相连；转轴（32）的轴向中部的周缘上具有开口（32-4），且开口（32-4）沿径向向内延伸从而形成舱口（32-5），并且舱口（32-5）用于在转轴（32）转动时落入和落下固体硅料（7）；所述的挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）均位于料箱（30）的箱体（30-2）中；所述的连接板（35）由其左右端部固定连接在料箱（30）的箱体（30-2）上；所述的挡板（33）由其顶部固定连接在连接板（35）上，其左右两端靠近箱体（30-2），并且靠紧在转轴（32）的轴向中部的周缘上；所述的导料板（34）按照前高后低的方式设置，且其前侧边沿固定连接在连接板（35）上或者是固定连接在箱体（30-2）上，并且其板体位于进料管（30-4）的下方；箱体（30-2）、转轴（32）、挡板（33）、导料板（34）和连接板（35）的设置，使得相互间的空隙小于固体硅料（7）的粒径；所述的加料机构的保护性气体接入口设置在储料箱（2）的箱体的上部；储料箱（2）位于料箱（30）的上方，密闭固定连接在料箱（30）上，且其出料口与进料管（30-4）连通；第一阀门（4）设置在储料箱（2）的位于下方的出料口处；所述称重机构（1）的称量信号输出端、电机（31）和第一阀门（4）各自的控制端均与主控制器（8）电连接或者是无线信号连接；所述的加料机构的抽真空接口设置在储料箱（2）的箱体的底部或者是料箱（30）的箱体（30-2）的底部。2.根据权利要求1所述的单晶炉的自动加料装置，其特征在于：还包括物料缓冲机构（5）、保温盖（102）、引导管（105）和单晶炉的炉盖（100）；所述的炉盖（100）设有进料口（101）；所述物料缓冲机构（5）包括筒体（51）、左挡板（52）和右挡板（53）；所述的筒体（1）的上端设有进料口，下端设有出料口；所述左挡板（2）和右挡板（3）的数量相等，或者两者相差一块，并且两者相间设置；各块左挡板（2）按照左高右低的方式固定连接在筒体（1）的内壁上；各块右挡板（3）按照左低右高的方式固定连接在筒体（1）的内壁上，且位于左挡板（2）的对面；相邻的左挡板（2）与右挡板（3）之间具有一定的距离，该距离大于使用中所投入的固体硅料颗粒的粒径，并且上侧挡板的