高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108131950A(43)申请公布日2018.06.08(21)申请号201711376981.X(22)申请日2017.12.19(71)申请人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所地址130033吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号(72)发明人包建勋张舸曹琪崔聪聪董斌超(74)专利代理机构深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316代理人赵勍毅(51)Int.Cl.F27D1/00(2006.01)F27D7/02(2006.01)F27D7/06(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉(57)摘要本发明提供了一种高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉。一种高纯净气氛炉用隔热模块，包括：密封金属腔，所述密封金属腔包括密封金属腔壳体和密封金属腔上盖，所述密封金属腔上盖位于所述密封金属腔壳体之上形成封闭腔体；上盖通气管道，所述上盖通气管道设置在所述密封金属腔上盖上；隔热填充物，所述隔热填充物填充于所述隔热模块的封闭腔体的内部；所述隔热模块的封闭腔体内可充纯氮气或惰性气体或经抽真空处理。该隔热模块密封金属腔保证了炉内高温下炉内无多孔隔热材料挥发气体污染氛围，达到外加热式纯金属密闭炉膛气氛炉的效果。CN108131950ACN108131950A权利要求书1/1页1.一种高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，包括：密封金属腔，所述密封金属腔包括密封金属腔壳体和密封金属腔上盖，所述密封金属腔上盖位于所述密封金属腔壳体之上形成封闭腔体；上盖通气管道，所述上盖通气管道设置在所述密封金属腔上盖上；隔热填充物，所述隔热填充物填充于所述隔热模块的封闭腔体的内部；所述隔热模块的封闭腔体内可充纯氮气或惰性气体或经抽真空处理。2.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述密封金属腔上盖通过焊接的方式与所述密封金属腔壳体连接在一起。3.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述隔热填充物选自莫来石纤维毡、玻璃/陶瓷纤维毡、泡沫陶瓷、陶瓷微珠中的一种。4.根据权利要求1所述的高纯净气氛炉用隔热模块，其特征在于，所述密封金属腔壳体和所述密封金属腔上盖的材质选自耐热钢、镍基合金、钼、钽或钨中的一种或多种。5.一种高纯净气氛炉，其特征在于，所述高纯净气氛炉的炉膛内设置有如权利要求1-4任一项所述的隔热模块，所述炉膛的壳体上设置有通孔用于所述隔热模块的上盖通气管道的通过，所述上盖通气管道与所述高纯净气氛炉的供气系统连接。6.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述隔热模块通过焊接或吊装的方式安装在所述高纯净气氛炉的炉膛内。7.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述上盖通气管道和所述通孔之间的间隙通过密封件和/压紧法兰密封。8.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述上盖通气管道与所述高纯净气氛炉的供气系统之间设置有密封阀门和调压装置。9.根据权利要求5所述的高纯净气氛炉，其特征在于，所述高纯净气氛炉为真空炉、负压气氛炉、常压气氛炉或正压气氛炉中的一种。10.一种如权利要求1-4任一项所述的高纯净气氛炉用隔热模块的安装方法，其特征在于，包括步骤：S1、根据隔热模块在炉膛内相对位置，在高纯净气氛炉密封壳体上为隔热模块上盖通气管道预留通孔；S2、所述隔热模块的上盖通气管道从预留通孔穿出，隔热模块可通过焊接或吊装等方式和高纯净气氛炉的内部连接并固定；S3、隔热模块的上盖通气管道与高纯净气氛炉密封壳体预留通孔之间的间隙，通过密封圈和压紧法兰进行密封；S4、隔热模块的上盖通气管道与高纯净气氛炉的供气系统连接，其二者之间设置有密闭阀门和调压装置；S5、隔热模块的密封金属腔的封闭腔体内根据需要通入高纯氮气或惰性气体，或抽真空。2CN108131950A说明书1/6页高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉技术领域[0001]本发明涉及本发明涉及气氛炉技术领域，尤其涉及一种高纯净气氛炉用隔热模块及其安装方法和高纯净气氛炉。背景技术[0002]高温高纯净反应环境对精细化工、半导体材料合成、合金或复合材料钎焊等技术领域至关重要。普通陶瓷纤维毡，或多孔陶瓷类保温材料由于比表面积巨大，容易吸潮和吸附其他杂质气体分子，加热时杂质气体分子逸出污染炉内气氛，只适用于对炉内气氛纯度要求不是非常高的情况。[0003]当前一般高纯净气氛炉根据加热器相对炉膛位置，分为外加热式和内加热式。前者使用耐热钢、石英或其他陶瓷等高温无挥发材料制作密闭腔体，加热器和隔热材料布置在腔体外围；后者通常以钨、钽、钼、镍基合金以及耐热钢等加热无挥发材料的抛光薄板作反射