一种多晶硅铸锭设备.pdf
一吃****继勇
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一种多晶硅铸锭设备.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭设备,包括上炉室、下炉室、承重台、升降装置和炉室底座,所述上炉室内设有保温毡,所述保温毡内设有熔料坩埚,所述熔料坩埚与所述下炉室之间通过硅液导管相连接,所述下炉室包括保温罩,所述保温罩下部设有冷却板,所述保温罩和冷却板组成密封的腔室,所述腔室内设有结晶器,所述结晶器包括结晶坩埚、石墨护板和热交换块,所述冷却板下设有承重台,所述承重台通过升降装置与炉室底座相连。本发明结构简单,操作方便,安全可靠,可以有效提高多晶硅锭块的质量。
一种多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法.pdf
本发明提供了一种多晶硅铸锭炉,包括用于支撑硅料承载容器的底板,所述底板表面的热导率不同。则在多晶硅铸锭时,液态硅料结晶生长的过程中,在硅料承载容器的底部会形成一个横向的温度梯度,同时,也会在垂直于硅料承载容器的底部的方向上形成纵向的温度梯度,从而在液态硅料结晶生长的过程中形成局部微凸的固液界面,并由此控制晶体初始成核的大小,形成较大的晶粒,继而通过定向凝固最终形成多晶硅锭。由于此多晶硅锭的成核晶粒较大,则所述多晶硅锭的位错和晶界会相应的减少,进而提高由此硅锭制得的多晶硅太阳能电池的转化效率。
一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉.pdf
本发明实施例公开了一种多晶硅铸锭炉热场,包括保温隔热笼体,保温隔热顶板,保温隔热底板,带坩埚的热交换台和加热器,保温隔热顶板设置有进气孔和出气孔,多晶硅铸锭炉热场还包括设置在坩埚顶部的用于遮盖坩埚的遮挡盖板,遮挡盖板上设置有进气孔和出气孔,且遮挡盖板的出气孔与保温隔热顶板的出气孔之间通过封闭的排气通道相连接。本发明还提供了一种多晶硅铸锭炉。能够直接将硅蒸汽、氧化硅等腐蚀性气体直接排出到热场或者多晶硅铸锭炉外部,提高了热场以及多晶硅铸锭炉的使用寿命,降低了生产成本,同时也可减少硅锭的碳污染,本方案特别适用于
一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的多晶硅铸锭方法.pdf
本发明公开了一种降低多晶硅铸锭底部氧含量的多晶硅铸锭方法,包括步骤:一、坩埚底部涂层制备:涂层喷涂液配制、喷涂和烘干;二、装料:向带底部涂层的坩埚内装入硅料,并将内装硅料的坩埚装入多晶硅铸锭炉内;多晶硅铸锭炉内装有六面加热装置;六面加热装置包括底部加热器、顶部加热器和四个侧部加热器;三、预热;四、熔化,过程如下:401、第一次升温;402、第二次升温;403、后续熔化;五、长晶;六、退火及冷却。本发明设计合理且实现简便、使用效果好,通过在坩埚底部涂覆一层以氮化硼为主要原料的底部涂层,并采用六面加热装置进行
一种多晶硅铸锭装置及其铸锭方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭装置,包括炉体、上隔热笼高度调节机构、上隔热笼、下隔热笼、隔热罩调节组件、底座、坩埚、加热器、支撑架和导气管,上隔热笼高度调节机构设于炉体上部,隔热罩调节组件设于上隔热笼高度调节机构上,上隔热笼设于隔热罩调节组件上,支撑架设于炉体底壁上,下隔热笼设于支撑架上,底座设于下隔热笼上,坩埚设于底座上,加热器设于底座上且位于坩埚外侧,导气管设于炉体侧壁上且贯穿上隔热笼设置。本发明涉及多晶硅铸锭技术领域,具体提供了一种隔热笼密封效果优良,且可直线多晶硅的纵向温度梯度,以提高多晶硅结晶质量的