硅芯方锭铸锭炉热场结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108486650A(43)申请公布日2018.09.04(21)申请号201810506442.1(22)申请日2018.05.24(71)申请人江阴东升新能源股份有限公司地址214426江苏省无锡市江阴市新桥镇锦园路(72)发明人刘德胜陆燕娜贺鹏飞(74)专利代理机构北京中济纬天专利代理有限公司11429代理人赵海波孙燕波(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称硅芯方锭铸锭炉热场结构(57)摘要本发明涉及一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，它包括石墨块(1)，所述石墨块(1)上设置有定向导气块(2)，所述定向导气块(2)上设置有坩埚(4)，所述坩埚(4)外侧设置有定位块(3)，所述坩埚(4)外侧设置有加热器(5)，所述加热器(5)外侧设置有保温层(6)，所述保温层(6)外侧设置有炉体(7)。本发明一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，它通过增加了下侧加热器和顶层加热器，能够对坩埚内硅料进行有效加热，并且能够方便的调节垂直方向的温度梯度场，通过外侧保温层控制散热，使硅能定向结晶，其结晶凝固过程得到有效控制，提高了多晶硅铸锭的质量和产品尺寸。CN108486650ACN108486650A权利要求书1/1页1.一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：它包括石墨块(1)，所述石墨块(1)上设置有定向导气块(2)，所述定向导气块(2)上设置有坩埚(4)，所述坩埚(4)外侧设置有定位块(3)，所述坩埚(4)外侧设置有加热器(5)，所述加热器(5)外侧设置有保温层(6)，所述保温层(6)外侧设置有炉体(7)。2.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述定向导气块(2)包括导气块本体(21)，所述导气块本体(21)背面左右两侧分别设置有进气口(22)和出气口(23)，所述进气口(22)右侧沿竖直方向开设有贯穿整个定向导气块(2)的第一导气孔(24)，所述进气口(22)和出气口(23)之间沿竖直方向开设有前后两个贯穿整个定向导气块(2)的第二导气孔(25)，所述进气口(22)与第一导气孔(24)下端之间通过进气导槽(26)相连通，所述出气口(23)沿水平方向向右开设有出气导槽(27)，所述出气导槽(27)与前后两个第二导气孔(25)下端之间通过连接导槽(28)相连通，所述第一导气孔(25)上端沿水平方向向左开设有第一冷却槽(29)，所述第一冷却槽(29)延伸至靠近第二通孔(25)位置处，两个第二导气孔(25)上端沿水平方向向左均开设有第二冷却槽(210)，所述第二冷却槽(210)延伸至靠近导气块本体(21)左侧面位置处，所述第一冷却槽(29)前后两侧沿水平方向分别开设有第三冷却槽(211)，所述第三冷却槽(211)外侧设置有第四冷却槽(212)，所述第三冷却槽(211)左端与第一冷却槽(29)左端相连通，所述第三冷却槽(211)右端与第四冷却槽(212)右端相连通，所述第四冷却槽(212)左端与第二冷却槽(210)左端相连通。3.根据权利要求2所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述导气块本体(21)上设置有前后两排固定安装孔(213)。4.根据权利要求2所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述导气块本体(21)背面设置有四个定位孔(214)。5.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述定位块(3)采用柔性耐高温材料。6.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述定位块(3)的高度不低于坩埚(4)高度的1/3。7.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述加热器(5)包括支撑架(51)，所述支撑架(51)固定设置于石墨块(1)四侧，所述支撑架(51)上设置有下侧加热器(52)，所述下侧加热器(52)上方设置有上侧加热器(53)，所述上侧加热器(53)顶部设置有顶层加热器(54)。8.根据权利要求4所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述下侧加热器(52)和上侧加热器(53)之间形成散热通道(55)。9.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述保温层(6)包括顶层保温层(61)，所述顶层保温层(61)四周设置有侧保温层(62)。10.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，其特征在于：所述保温层(6)的材料采用碳纤维材料。2CN108486650A说明书1/4页硅芯方锭铸锭炉热场结构技术领域[0001]本发明涉及一种硅芯方锭铸锭炉热场结构，属于多晶硅生产技术领域。背景技术[0002]目前，目前国内生产多晶硅的工艺大部分都是常规三氯