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一种低介电常数的聚酰亚胺薄膜及其制备方法.pdf
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一吃****仕龙
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本发明公开了一种低介电常数的聚酰亚胺薄膜及其制备方法。该聚酰亚胺薄膜是由一种聚酰胺酸溶液经热处理得到的，其中聚酰胺酸溶液是由4，4'‑二氨基二苯醚、另一种二胺单体、均苯四甲酸二酐和马来酸酐制备而成，另一种二胺单体为2，2’‑双[4‑（4‑氨基苯氧基苯基）]丙烷、1，3’‑双（4‑氨基苯氧基）苯或1，4’‑双（4‑氨基苯氧基）苯。将上述聚酰胺酸溶液均匀涂覆在玻璃板上，然后放置于真空干燥箱中消除气泡并干燥，然后移入马弗炉中按设定的程序升温和保温，待冷却至室温，再放入水中超声剥离薄膜，然后将薄膜真空干燥，得到具
2023-06-17
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