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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109065424A(43)申请公布日2018.12.21(21)申请号201810710969.6(22)申请日2018.07.03(71)申请人九江学院地址332000江西省九江市前进东路551号(72)发明人漆世锴(74)专利代理机构南昌新天下专利商标代理有限公司36115代理人谢德珍(51)Int.Cl.H01J9/04(2006.01)H01J23/04(2006.01)C23C10/30(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法(57)摘要一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其制备方法包括:将金属钪粉和钨粉混合,得到均匀混合的钪钨合金粉末;将所述钪钨合金粉末与(1.5~3)wt%硝棉溶液均匀混合,将混合溶液施加于钨丝阴极基底表面,烘烤;将表面施加了钪钨合金粉后的钨丝放入高温氢气炉中,在1350±50℃下保温5~10分钟,制备得到钪钨基合金层;然后,在钪钨基合金层表面浸渍金属铼粉与(1.5~3)wt%硝棉溶液的混合液后,烘烤;将钪钨基合金层表面浸渍了金属铼粉后的钨丝放入高温氢气炉中,在1500±50℃下保温5~10分钟,即制备得到铼浸渍钪钨基合金阴极。本发明方法制得的铼浸渍钪钨基合金阴极能够提高磁控管用纯钨丝阴极的发射电流密度,降低纯钨丝阴极的工作温度及表面蒸发率,从而延长阴极及磁控管的寿命。CN109065424ACN109065424A权利要求书1/1页1.一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:a、将金属钪粉和钨粉混合倒入玛瑙钵中研磨充分,得到均匀混合的钪钨合金粉末;b、将所述钪钨合金粉末与1.5~3wt%硝棉溶液均匀混合,将混合溶液施加于钨丝阴极基底表面,置于红外灯下烘烤;c、将表面施加了钪钨合金粉后的钨丝放入高温氢气炉中,在1350±50℃下保温5~10分钟,即制备得到钪钨基合金层;d、在钪钨基合金层表面浸渍金属铼粉与1.5~3wt%硝棉溶液的混合液后,置于红外灯下烘烤;e、将钪钨基合金层表面浸渍了金属铼粉后的钨丝放入高温氢气炉中,在1500±50℃下保温5~10分钟,即制备得到铼浸渍钪钨基合金阴极。2.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述a步骤中的Sc粉、W粉是按照重量百分数为5~10wt%:90~95wt%混合的,Sc粉、W粉的纯度为99.9%,平均粒径为1~3μm。3.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述a步骤中的研磨是在玛瑙钵中进行,混合研磨24~48小时。4.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述b步骤中的钪钨合金粉末与1.5~3wt%硝棉溶液是按重量比为1:2~4混合的,混合时间0.5~2小时。5.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述b步骤中的烘烤是在红外灯下进行,烘烤时间≥1小时。6.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述c步骤中的烧结过程为:先升温,耗时0.5~1小时从常温线性升至1350±50℃,在保温5~10分钟后降温,降温时,从1350±50℃耗时0.5~2小时线性降至常温。7.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述c步骤中钨丝表面烧结的钪钨基合金层的厚度为50~300μm之间。8.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述d步骤中的金属铼粉是纯度为99.9%,平均粒径为1~3μm;金属铼粉与1.5~3wt%硝棉溶液是按重量比为1:2~4混合的,混合时间0.5~2小时。9.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述d步骤中的烘烤是在红外灯下进行,烘烤时间≥1小时。10.根据权利要求1所述的一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法,其特征在于,所述e步骤中的烧结过程为:先升温,耗时0.5~2小时从常温线性升至1500±50℃,在保温5~10分钟后降温,降温时,从1500±50℃耗时0.5~3小时线性降至常温。2CN109065424A说明书1/5页一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法技术领域[0001]本发明涉及一种铼浸渍钪钨基合金阴极的制备方法。背景技术[0002]目前磁控管正朝着高输出功率的方向发展,普通的钡钨阴极、氧化物阴极等因其不耐电子、离子轰击,不耐阳极高压,易于发生打火等缺点几乎不能在中大功率磁控管中应用。因此,在高阳极电压的中大功率连续波磁控管中,发射本领较弱的直热式纯钨(W)丝阴极获得广泛应用。和普通氧化物阴极和钡钨阴极相比,纯W丝阴极具有发射稳定性高,耐电子