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降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉.pdf
2023-06-17
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一吃****永贺
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降低高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉.pdf
本发明涉及一种高纯氩气使用量的多晶硅铸锭炉，它解决了现有多晶硅铸锭炉氩气通入量高利用率低、成本高、铸锭品质差的问题，其包括炉体，炉体内设有隔热托板，隔热托板上设有环形保温罩，环形保温罩周向内侧设有坩埚，且环形保温罩周向外侧设有加热器，炉体上端设有氩气进气口，下端设有若干氩气出气口，环形保温罩上端封闭，炉体靠近氩气进气口的一端的直径大小至另一端的直径大小逐渐变小，且炉体周向内侧和环形保温罩周向外侧之间形成锥形送气通道，环形保温罩周向内侧和坩埚周向外侧之间设有呈圆锥筒状的布气通道，且环形保温罩上设有连通结构。
2023-06-17
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本发明提供一种多晶硅铸锭炉氩气导流系统及其导流方法，包括氩气进口直管、石墨坩埚和盖板，石墨坩埚的开口边缘开有凹槽，顶部盖板上绕氩气进口直管对称分布盖板排气口，氩气进口直管出口端与喇叭形进口管的进口端连接，氩气进口直管出口端侧壁上对称分布有出口气孔，喇叭形进口管的出口端与喷淋式进口管的进口端连接，喷淋式进口管为有底管，喷淋式进口管的底部对称分布有底部气孔，喷淋式进口管的侧壁上对称开有侧壁气孔。使用该系统时，针对熔料、生长和收尾的不同阶段，控制氩气进口直管的上下不同位置，从而能够优化氩气流动，降低晶体硅中的氧
2023-06-19
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一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法.pdf
一种用于多晶硅铸锭炉降低铸锭碳氧含量的方法，该方法包括以下步骤：（1）对石英坩埚进行喷涂氮化硅浆料作为脱模层，然后装料并在坩埚四周设置开有小孔的护板，护板尺寸长为500mm‑1200mm，高为300mm‑600mm，放置于石墨底板上，用叉车将料投入定向铸锭炉内；（2）合炉运行，抽真空处理后加热至800‑900℃时通入氩气，设置进气量为50%‑90%之间，继续升温至1550℃，直至硅料处于熔融状态；（3）然后打开隔热笼并降低设置温度，待硅料的熔融温度降至多晶硅铸锭的结晶温度后对混合硅料进行定向凝固直至完成长
2023-06-17
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本发明涉及一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器，包括：顶部加热器，包括电阻值相等的两部分及两个石墨电极，所述两个石墨电极按照将所述电阻值相等的两部分并联的方式接线；侧部加热器组件，包括围成一圈且电阻值相等的四部分及四个石墨电极，所述四个石墨电极按照将所述电阻值相等的四部分并联的方式接线。上述石墨加热器，顶部加热器和侧部加热器组件各包括阻值相等若干部分，通过石墨电极实现并联接线，能够保证顶部加热器的每一部分上的电压彼此相等，相同时间内发热量相等；及保证侧部加热器组件的每一部分的电压也彼此相等，相同时间内发热量相等，
2023-06-18
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多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法.pdf
本发明公开了一种多晶硅铸锭炉，炉体包括上炉盖、炉身和炉底，炉底和炉身采用液压连接；所述保温体为立方形，保温体包括上保温体和下保温体；石墨平台位于保温体中，四个坩埚放置于石墨平台上；上加热体和下加热体都位于所述保温体中，且上加热体位于上保温体的顶面下方、下加热体位于石墨平台下方，上加热体和上保温体固定在一起并固定于炉身上，下加热体和下保温体固定在一起并能一起和上保温体分开并向下移动。本发明还公开了一种多晶硅铸锭方法。本发明能成倍地提高单个铸锭炉产量、并能保证质量良好，能提高现有设备的使用率并能节省设备投资成
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