一种应用于单晶炉的主炉室结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109183139A(43)申请公布日2019.01.11(21)申请号201811205376.0(22)申请日2018.10.16(71)申请人浙江晶鸿精密机械制造有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区经济开发区通江西路218号(72)发明人曹建伟傅林坚韦韬胡建荣倪军夫陈杭陈新旺(74)专利代理机构杭州中成专利事务所有限公司33212代理人周世骏(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种应用于单晶炉的主炉室结构(57)摘要本发明关于单晶炉辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。包括主炉室、上法兰、下法兰与隔水组件；主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体侧壁上开有孔，在外筒体侧壁上的相应位置也开有孔并在此处焊接有测温口法兰；上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、导水槽与出水嘴；第一隔水条组成环形水道，导水槽与主炉室轴线平行设置，出水嘴设于导水槽末端。本发明提高了主炉室的密封性能；并提高了冷却效率，从而降低单晶炉的硅棒单次生产时间，降低辅助材料的替换频率。CN109183139ACN109183139A权利要求书1/1页1.一种应用于单晶炉的主炉室结构，包括主炉室；其特征在于，还包括上法兰、下法兰与隔水组件；所述主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构，内筒体中部侧壁圆周上均匀开有若干孔并对应设有30°焊接坡口，在外筒体侧壁上的相应位置开有孔并焊接有测温口法兰，用于安装测温仪从而测量出内筒内的温度；所述上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端，内部设有水槽，用于冷却水的流通；侧部均开有Rc螺纹孔，Rc螺纹孔与水槽均相互连通；所述隔水组件焊设于内筒体与外筒体间，包括第一隔水条、第二隔水条、第三隔水条、导水槽与出水嘴；所述第一隔水条为环形的隔水板，有多块，拼接成一自上法兰下端面绕设内筒体外壁的至下法兰上端面的环形连续水道；靠近所述水道前端与末端的上法兰及下法兰的端面上，均开有通孔，与水道连通；所述通孔同时与上法兰及下法兰内的水槽也各自连通；所述第二隔水条为弧形结构的板，设于内筒体外壁顶端，且位于主炉室导水槽右侧；所述第三隔水条，为条形结构的板，有两条且对称设于测温口法兰旁侧，并与水平位置呈30°；所述导水槽平行主炉室轴线方向设置，且顶端抵接上法兰下端面，底端抵接下法兰上端面；出水嘴设于导水槽底端，出水嘴外接下法兰的螺纹孔；所述内筒体内壁上还焊设有热场支撑块，用于支撑坩埚。2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第一隔水条与内筒体间焊接的缝隙不大于0.2mm，与外筒体的缝隙不大于0.4mm。3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，内筒体侧壁上的孔有9个，且为Φ38的孔；外筒体侧壁上的孔为Φ70的孔。4.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第二隔水条距离第一隔水条顶端66mm。5.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第三隔水条距离主炉室底端760mm。6.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述热场支撑块与内筒体内壁相对的表面是圆弧面，其余侧面设有通孔，作为透气孔；热场支撑块与内筒体相接触的面上设有2×M5-6H的螺纹孔,用于与螺钉配合从而实现与主炉室的内筒体壁的连接固定。7.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，上法兰与下法兰的端面上均设有30°的坡口，便于与内筒体和外筒体的紧密焊接，同时保证密封性。8.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述导水槽槽体底端设有温度传感器安装板，温度传感器安装板上加工有孔，用于放置测温仪。2CN109183139A说明书1/4页一种应用于单晶炉的主炉室结构技术领域[0001]本发明关于单晶炉辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。背景技术[0002]单晶硅是用于太阳能光伏发电的重要材料。单晶硅生产中不可缺的需要用到耗材，如水、电、气、石英等等，每次拉晶完成需要冷却后拆炉清理，更换必要耗材，再次拉晶需要从室温开始加热，所以温度的冷却快慢对生产的效率和成本有很大影响。[0003]现在国家极度重视新能源的开发及应用，并投入大量资金对光伏行业进行扶持，国内单晶硅的需求不断增加，该产业的特点为技术、资本双密集型。从技术上来说，技术先进程度直接决定了生产成本的高低，而生产效率对于单晶硅企业的盈利性非常敏感；从资本角度看，单晶硅生产需要投入大量设备，扩产周期长，且对人员生产控制要求很高。因此单晶硅行业进入壁垒较高，行业龙头的先发优势非常明显，短期内行业