一种应用于单晶炉的副炉室.pdf
海昌****姐淑
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一种应用于单晶炉的副炉室.pdf
本发明涉及单晶炉的辅助设备领域,特别涉及一种应用于单晶炉的副炉室。包括副炉室本体;副炉室本体为包括内筒与外筒的双层筒体结构;法兰连接结构包括副炉室下法兰、副炉室上法兰与副炉室侧法兰;排水组件包括设于外筒外壁且与副炉室本体轴线平行的导水条,导水条底端连接副炉室水嘴。本发明的法兰和筒体结构焊接形成内部具有良好的密封效果,且在两端法兰处连接密封效果也是同样优秀,提高了副炉室的密封性能;提高了冷却效率,从而提高单晶炉的硅棒单次生产重量以及长度,降低辅助材料的替换频率。随着副炉室长度的增加,可以使拉晶的长度增加,可
一种应用于单晶炉的副炉室延长段.pdf
本发明是关于单晶炉辅助设备领域,特别涉及一种应用于单晶炉的副炉室延长段。包括延长段本体;延长段本体为双层圆筒状结构,包括圆筒状的延长段内筒与延长段外筒;延长段上法兰与延长段下法兰分别焊设于延长段本体的顶端与底端;延长段侧法兰通过连接组件设于延长段外本体侧部;连接组件为双层管体结构,包括延长段侧法兰内接管与延长段侧法兰外接管;隔水组件包括延长段隔水条;延长段隔水条为弧形结构,有多条且平行于延长段本体底面并焊设于延长段内筒与延长段外筒之间。本发明提高了副炉室延长段的密封性能;提高了冷却效率,从而提高单晶炉的硅
一种单晶炉副室.pdf
本实用新型涉及一种清扫擦拭更加方便的单晶炉副室。采用的技术方案包括:单晶炉副室本体,所述单晶炉副室本体的侧壁至少设有一个清洗窗,所述清洗窗包括焊接于所述单晶炉副室本体侧壁上的底座以及通过铰链铰接于所述底座一端的上盖所述上盖内设有冷却液流道、一侧设有与所述冷却液流道连通的进水口和出水口。优点如下:1、通过在单晶炉副室本体侧壁设置一组清洗窗,通过清洗窗可对单晶炉副室本体进行分段清扫擦拭,可以不需要将单晶炉副室本体拆卸。
一种应用于单晶炉的主炉室结构.pdf
本发明关于单晶炉辅助设备领域,特别涉及一种应用于单晶炉的主炉室结构。包括主炉室、上法兰、下法兰与隔水组件;主炉室为由内筒体与外筒体组成的双层筒体结构,内筒体侧壁上开有孔,在外筒体侧壁上的相应位置也开有孔并在此处焊接有测温口法兰;上法兰与下法兰分别焊接于主炉室的顶端与底端,内部设有水槽,侧部均开有Rc螺纹孔,Rc螺纹孔与水槽均相互连通;隔水组件焊设于内筒体与外筒体间,包括第一隔水条、导水槽与出水嘴;第一隔水条组成环形水道,导水槽与主炉室轴线平行设置,出水嘴设于导水槽末端。本发明提高了主炉室的密封性能;并提高
单晶炉及其副室.pdf
本申请公开了一种单晶炉的副室,所述副室为伸缩式结构。在工厂厂房高度和单晶炉整体高度一定的情况下,副室可以通过由下向上收缩,使副室远离主炉室,副室与主炉室之间的距离可以满足使用要求,将长晶棒的下端露出副室的底端,从而将长晶棒从副室中取出。可见该副室能够在厂房高度一定的情况下,增加晶棒的生产长度,提高了晶棒的生产效率。本申请还公开了一种应用该副室的单晶炉。