一种单晶炉加压装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109208074A(43)申请公布日2019.01.15(21)申请号201811191553.4(22)申请日2018.10.12(71)申请人徐州华奥纺织有限公司地址221600江苏省徐州市沛县沛屯大道西侧能源开发区(72)发明人袁驰(74)专利代理机构南京中高专利代理有限公司32333代理人吕波(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种单晶炉加压装置(57)摘要本发明涉及一种单晶炉加压装置，包括储气筒、输送管、压力泵、回流管、压力保护阀、法兰、直管接头和管道接头，所述的储气筒与输送管的一端相连，所述的压力泵安装在输送管上，所述的输送管的另一端通过法兰与直管接头相连，所述的管道接头是由上夹头和下夹头所组成，所述的上夹头和下夹头的中心处分别开设有第一通孔和第二通孔，所述的第一通孔和第二通孔正对着端盖上的加压孔，所述的下夹头固定安装在加压孔上方的端盖上，所述的直管接头连接在上夹头的上端；本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。CN109208074ACN109208074A权利要求书1/1页1.一种单晶炉加压装置，其特征在于：包括储气筒、输送管、压力泵、回流管、压力保护阀、法兰、直管接头和管道接头，所述的储气筒与输送管的一端相连，所述的压力泵安装在输送管上，所述的输送管的另一端通过法兰与直管接头相连，所述的管道接头是由上夹头和下夹头所组成，所述的上夹头和下夹头的中心处分别开设有第一通孔和第二通孔，所述的第一通孔和第二通孔正对着端盖上的加压孔，所述的下夹头固定安装在加压孔上方的端盖上，所述的直管接头连接在上夹头的上端，所述的下夹头的上端设置有卡头，所述的上夹头的底部开设有卡槽，所述的卡头可拆卸地连接在卡槽内，所述的卡头与卡槽之间设置有弹性定位机构，所述的下夹头上还设置有螺杆，所述的螺杆的上端穿过上夹头，穿过上夹头的螺杆的一端连接有夹紧螺母，所述的上夹头通过螺杆与夹紧螺母的配合固定在下夹头上，端盖内开设有压力保护通道，所述的保护通道的一端与加压孔相连通，所述的保护通道的另一端安装有压力保护阀，所述的压力保护阀通过回流管与储气筒相连。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加压装置，其特征在于：所述的上夹头的顶部设置有第一连接筒体，所述的第一连接筒体的外壁上设置有第一外接螺纹，所述的直管接头的内壁上设置有第一内接螺纹，所述的直管接头通过第一外接螺纹与第一内接螺纹的配合连接在第一连接筒体的外壁上。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉加压装置，其特征在于：所述的弹性定位机构包括开设在卡槽内壁上凹槽、开设在卡头外壁上的半球形卡头、球形卡头和弹簧，所述的球形卡头在弹簧的作用下卡入半球形卡头内，所述的球形卡头通过弹簧连接在凹槽内。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉加压装置，其特征在于：所述的压力保护阀包括阀筒、阀芯和第二弹簧，所述的阀筒固定连接在端盖，阀筒内的导向槽与保护通道相连通，所述的阀芯通过第二弹簧连接在阀筒的导向槽内，所述的阀筒的侧壁上开设有出气通道，所述的出气通道的一端与导向槽相连通，所述的出气通道的另一端与回流管相连通，所述的出气通道通过阀芯进行密封。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉加压装置，其特征在于：所述的端盖上设置有连接座，所述的阀筒的下端开设有与连接座相匹配的连接孔，所述的连接座伸入至连接孔内，所述的阀筒下端的侧壁上开设有顶紧螺纹孔，所述的顶紧螺纹孔内连接有顶紧螺栓，所述的顶紧螺栓穿过顶紧螺纹孔与连接座相连，所述的阀筒通过顶紧螺栓与连接座固定连接。6.根据权利要求4或5中任一项所述的一种单晶炉加压装置，其特征在于：所述的阀筒上端的侧壁上连接有限位座，所述的限位座上方的阀筒的外壁上设置有第二外接螺纹，所述的回流管的内壁上设置有第二内接螺纹，所述的回流管通过第二内接螺纹与第二外接螺纹的配合连接在阀筒的上端。2CN109208074A说明书1/3页一种单晶炉加压装置技术领域[0001]本发明涉及单晶炉技术领域，特别是一种单晶炉加压装置。背景技术[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。[0003]在硅单晶拉制过程中需要在高压的环境下进行，但是随着压力的不断增大单晶炉也会产生安全隐患，所以设计一种单晶炉加压装置就显得尤为重要，防止其受到过大的压力而造成自身结构的损坏。发明内容[0004]本发明在端盖内开设有保护通道，当单晶炉内压力过大时