单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法及导流筒外屏和导流筒.pdf
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单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法及导流筒外屏和导流筒.pdf
本发明公开了一种可调节导流筒外屏高度的单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法,其特征是所述外屏包括上外屏、下外屏,上外屏下部设有上外屏连接部,下外屏上部设有下外屏连接部,均为轴向直壁段,上外屏连接部的外径为下外屏连接部的内径,上外屏连接部与下外屏连接部之间由连接装置连接固定,达到调节外屏的高度,并将上外屏与下外屏连接成一体;相应内屏包括上内屏、下内屏,上内屏连接部的外径为下内屏连接部的内径,上内屏连接部可在下内屏连接部内滑动;本发明方法可靠,结构简单,导流筒的外屏、内屏采用模块化组装,具有高度可调的特点,可满足
一种单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法及导流筒外屏和导流筒.pdf
本发明公开了一种可调节导流筒外屏高度的单晶炉用导流筒外屏高度的调节方法,其特征是它包括以下步骤:⑴将外屏分割切断成上外屏、下外屏;⑵制备连接筒,⑶用工装将上外屏、下外屏和连接筒组装成外屏,在上外屏与上外屏连接部之间、下外屏与下外屏连接部之间钻螺孔;⑷将螺钉旋入螺孔,使上外屏、连接筒和下外屏连接成一体;相应内屏包括上内屏、下内屏,上内屏连接部的外径为下内屏连接部的内径,上内屏连接部可在下内屏连接部内滑动;本发明方法可靠,结构简单,导流筒的外屏、内屏采用模块化组装,具有高度可调的特点,可满足不同热场的需要,还
一种单晶炉热屏导流筒.pdf
本发明涉及机械设备技术领域,具体涉及一种单晶炉热屏导流筒,包括导流筒本体,导流筒本体包括外热屏和内热屏,外热屏和内热屏之间设有保温层结构,在内热屏空腔体内设置有冷却装置,该冷却装置的侧壁由钼制成形成隔热屏,隔热屏内侧沿壁体设置有螺旋冷却管,冷却管内设置有铜制的筒体;该导流筒用冷却装置增大纵向温度分布并把冷却装置与保温热屏分开,增强保温性能的同时形成保护气通道,使生产单晶更加稳定,降低了加热器消耗,增加了晶体的生长速度、节约了生产成本。
一种单晶炉热屏导流筒.pdf
本发明提供了一种单晶炉热屏导流筒,包括导流筒本体,所述导流筒本体包括外热屏和内热屏,所述内热屏内设有冷却装置,所述冷却装置通过连接环与所述导流筒本体固定连接,所述导流筒本体上设有筒体提升装置。本发明能够解决仅通过硅棒传导潜热由于其传导效率低,造成了加热器加热硅的时间延长导致其过度消耗,增加了单晶硅的制造成本的技术问题。
用于单晶炉的导流筒、单晶炉及导流筒的加工方法.pdf
本发明公开了一种用于单晶炉的导流筒、单晶炉导流筒的加工方法,导流筒的内轮廓线包括:第一直线段,第一直线段沿竖直方向延伸;第二直线段,第二直线段的一端与第一直线段的背离坩埚的一端连接,第二直线段的另一端朝向背离晶棒的方向倾斜向上延伸,第二直线段与竖直方向之间的夹角为α,且满足:α≥45°;线段组,线段组包含多个依次连接且倾斜角度不同的直线段,线段组用于将从晶棒传递至线段组上的热量朝向水冷套传递,利用水冷套阻挡热量反向传递至晶棒上。根据本发明的导流筒,可以加速晶棒的冷却,有利于降低晶棒内的热应力,从而可以避免