一种单晶炉热屏导流筒.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113089079A(43)申请公布日2021.07.09(21)申请号202110406589.5(22)申请日2021.04.15(71)申请人曲靖阳光能源硅材料有限公司地址655000云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号(72)发明人谭鑫李鸿邦王存崔凯崔磊(74)专利代理机构北京冠和权律师事务所11399代理人朱健(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书4页说明书10页附图4页(54)发明名称一种单晶炉热屏导流筒(57)摘要本发明提供了一种单晶炉热屏导流筒，包括导流筒本体，所述导流筒本体包括外热屏和内热屏，所述内热屏内设有冷却装置，所述冷却装置通过连接环与所述导流筒本体固定连接，所述导流筒本体上设有筒体提升装置。本发明能够解决仅通过硅棒传导潜热由于其传导效率低，造成了加热器加热硅的时间延长导致其过度消耗，增加了单晶硅的制造成本的技术问题。CN113089079ACN113089079A权利要求书1/4页1.一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，包括导流筒本体(1)，所述导流筒本体(1)包括外热屏(100)和内热屏(101)，所述内热屏(101)内设有冷却装置(2)，所述冷却装置(2)通过连接环(1010)与所述导流筒本体(1)固定连接，所述导流筒本体(1)上设有筒体提升装置(3)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，所述外热屏(100)下端与所述内热屏(101)连通，所述导流筒本体(1)上设有保温盖(102)，所述导流筒本体(1)上设有连接凸台(1000)，所述凸台(1000)与所述保温盖(102)通过连接件(1001)连接，并通过紧固螺母(1002)进行连接紧固。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，所述冷却装置(2)包括外壁(200)和内壁(201)，所述外壁(200)所述内壁(201)之间设有螺旋冷却管(203)，所述螺旋冷却管(203)一端为冷却介质进口(2030)，所述螺旋冷却管(203)另一端为冷却介质出口(2031)，所述冷却介质进口(2030)与所述冷却介质出口(2031)均与外部循环系统连接，所述螺旋冷却管(203)内设有冷却介质(202)；所述外壁(200)材质为钼，所述内壁(201)材质为铜。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，所述外热屏(100)和所述内热屏(101)之间设有保温层结构(103)。5.根据权利要求2所述的一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，所述筒体提升装置(3)包括两对称布置的动力装置(300)和两对称布置的执行装置(301)，所述动力装置(300)和所述执行装置(301)通过提升钢绳(305)连接，所述连接件(1001)工作端设有连接孔(1003)，所述执行装置(301)可与所述连接孔(1003)相互配合连接。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉热屏导流筒，其特征在于，所述动力装置(300)包括动力装置壳体(3000)，所述动力装置壳体(3000)内设有第一安装腔(3001)和第二安装腔(3002)；所述第一安装腔(3001)内设有主轴(3003)、第一次轴(3004)、第二次轴(3005)和第三次轴(3020)，所述主轴(3003)位于所述第一次轴(3004)和所述第二次轴(3005)之间，所述第三次轴(3020)位于所述主轴(3003)和所述第一次轴(3004)之间，所述第一次轴(3004)部分位于所述第一安装腔(3001)内部分位于所述第二安装腔(3002)内，所述主轴(3003)、所述第一次轴(3004)和所述第二次轴(3005)与所述动力装置壳体(3000)接触的部分设有若干轴承(3006)，所述主轴(3003)上设有第一驱动件(3007)，且键连接有驱动齿轮(3008)，所述第一次轴(3004)上设有驱动滑槽(3009)，且通过滑键连接有第一啮合齿轮(304)和第一反转啮合齿轮(3021)，所述滑键上设有第二驱动件，所述第二驱动件用于驱动所述滑键沿所述驱动滑槽(3009)移动，所述主轴(3003)和所述第一次轴(3004)之间的间距为所述驱动齿轮(3008)和所述第一啮合齿轮(304)的半径之和，所述第三次轴(3020)上键连接有第二反转啮合齿轮(3022)，所述第二反转啮合齿轮(3022)可与所述第一反转啮合齿轮(3021)和所述驱动齿轮(3008)同时啮合，所述第二次轴(3005)上键连接有第二啮合齿轮(3040)和滚轮(3041)，所述第二啮合齿轮(3040)与所述驱动齿轮(3008)相互啮合，所述提升钢绳(305)一端绕在所述滚轮(