电子束蒸发镀膜机和磁控溅射镀膜机招标文件doc-招标.docx
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本发明公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构,包括真空室体,所述真空室体为横向放置的圆筒状结构,其两端开口,在两端开口处焊接有法兰Ⅰ,法兰Ⅰ外端面为密封面,所述真空室体置于固定支座上,在真空室体两端各设有一封头门,所述封头门固定在移动门架上,所述移动门架底部设有脚轮,脚轮置于道轨上,移动门架由电机驱动在道轨上平行移动,封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本发明的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构,既能满足高真空密封的要求,又能满足取放工件的大开度要求,抗压均匀,稳定性好、使用方便。