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一种半导体单晶炉腔体的焊接设备.pdf
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一种半导体单晶炉腔体的焊接设备.pdf
本发明涉及焊接装备领域，具体涉及一种半导体单晶炉腔体的焊接设备，具有机座，机座底部设有升降台，所述升降台上设有可自由转动的定心爪，定心爪上设置带有压力传感器的滚轮，所述定心爪之间设有弹簧；机座上设有若干对导轮伸缩杆，所述导轮伸缩杆上设置有用来移动待焊腔体的推进导轮，推进导轮之间设有燃料通道，燃料通道与副焊枪相通；机座上方设有机架，所述机架上设有用于固定焊枪的焊具夹具，焊枪通过机架内的软管与燃料通道相通。本装置无需人工进行焊接，焊接效果好，焊接效率较高。
2023-06-17
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单晶生长炉隔离阀腔体.pdf
本发明公开了一种单晶生长炉隔离阀腔体。它包括上法兰、下法兰、观察窗、阀口法兰、阀口接管、方形内胆、半圆内胆、方形外壳、半圆外壳、水圈、长塞堵、短塞堵、盖板、隔水块、隔水条、分水条、出水管、进水接头、卸压阀、真空接头、视口法兰、颈内管、颈外管；方形内胆和半圆内胆纵向焊接成筒状，形成腔体内胆，方形外壳和半圆外壳纵向焊接成筒状，形成腔体外壳，腔体内胆套在腔体外壳内，并焊在上法兰和下法兰之间，在腔体内胆和腔体外壳之间焊有隔水条和分水条，形成螺旋形水道。本发明设计简单，容易实现。用于单晶生长的设备中，作为隔离阀的腔
2023-06-20
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一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体级硅单晶炉的排气装置及单晶炉。排气装置包括排气圈、排气管；所述排气圈内部设有环形的引气通道、进气口、出气口；排气管包括排气管肘及自排气管肘下端延伸的管体；废气通过排气圈上的进气口引气，并依次通过引气通道、出气口及排气管将气体排出。该排气圈设置为环形，在与单晶炉中的坩埚配合时，能够自坩埚周向均匀的排气，避免坩埚各位置的温差过大而使内部长晶不均匀的隐患发生。并且排气管与坩埚之间并不会接触，排气管的热量并不会再影响坩埚的温度，使坩埚的温度减少外部影响，更加能够精确控制以提高长晶质量。
2023-06-17
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一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀及单晶炉.pdf
本发明公开了一种用于半导体硅单晶炉的翻板阀，包括翻板、翻转轴、连接翻转轴及翻板的连接板；其中在翻板内部设置了水道，可以通过引入冷却水的方式在翻板内部的水道流动带走翻板的热量，以达到冷却的效果，同时从翻转轴中的两个轴体分别引入进水通道及排水通道，这样不需要重新再设置其他管道结构，直接利用本身存在的翻转轴即可实现冷却水的引入。
2023-06-17
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半导体单晶炉.pdf
本发明公开了一种半导体单晶炉，它包括底座、主炉室、副炉室、下驱动装置和上驱动装置，它还包括可升降磁场装置、副炉室升降驱动装置、副炉室旋转驱动装置和电动接晶托，可升降磁场装置包括磁场产生源和磁场升降驱动装置，磁场升降驱动装置连接在底座上，磁场产生源和磁场升降驱动装置相连，以便通过磁场升降驱动装置驱动磁场产生源升降，且磁场产生源套装在主炉室的外侧；副炉室通过副炉室旋臂连接在副炉室升降驱动装置上；副炉室旋转驱动装置连接在副炉室升降驱动装置和副炉室旋臂之间。本发明采用自动化操作，定位精准、结构简单、易操作、易控制
2023-06-17
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