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一种拉晶装置.pdf
2023-06-17
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努力****梓颖
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一种拉晶装置.pdf
本发明提供一种拉晶装置，所述装置包括：炉体；设置在所述炉体顶部的氩气输入管道；设置在所述炉体底部的氩气输出管道；其中，所述氩气输出管道内壁设置有耐高温层。根据本发明的拉晶装置，通过在连接在炉体底部的氩气输出管道上设置耐高温层，有效避免了氩气排出过程中，硅的氧化物与氩气输出管道的直接接触，隔绝了硅的氧化物与管道材料之间的反应，从而避免了氩气输出管道的氧化与反应副产物的沉积，延长了氩气输出管道的使用寿命，减少了生产成本。
2023-06-17
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拉晶炉的冷却装置及拉晶炉.pdf
本发明涉及晶体生产制造装置技术领域，提供一种拉晶炉的冷却装置及拉晶炉，包括用于供冷却介质流通的螺旋管道，螺旋管道的截面形状具有至少一个直线边，至少一个直线边所在的螺旋管道表面为第一吸热面，其余螺旋管道的表面为第二吸热面，第一吸热面平行于螺旋管道的中轴线，使用本装置时，可以在拉晶炉的炉壁内部以及腔室内部分别设置螺旋管道，由各自螺旋管道的第一吸热面分别螺旋环绕于腔室周围以及腔室内生长的晶体周围，相较于现有技术，第一吸热面各局部位置从整体上更靠近发热体，冷却效果更优，另外第二吸热面还能够在侧向进行换热冷却，整体
2023-06-15
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一种单晶炉拉晶装置.pdf
本申请涉及单晶炉，尤其涉及一种单晶炉拉晶装置，包括：机架；外轴、内轴，夹持机构，夹持机构连接于外轴的底部，以及驱动机构包括：第一驱动组件，第一驱动组件固定于固定座上并作用于外轴，用于驱动外轴和内轴在第一方向上移动；第二驱动组件，第二驱动组件固定于移动座上并作用于内轴，用于独立驱动内轴在第一方向上移动；以及旋转驱动组件，旋转驱动组件固定于移动座上并作用于外轴，用于驱动外轴旋转。本申请采用内轴和外轴分别提升的方式，在晶棒缩颈从而得到夹持部，在驱动下提升外轴和托板，再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩，并以预设的
2023-06-15
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一种磁控拉晶装置.pdf
本申请实施例，提供了一种磁控拉晶装置，包括单晶炉、坩埚以及磁控组件；坩埚设置于单晶炉内，用于盛放硅液，所述磁控组件设置于所述硅液上方。磁控组件包括环形磁体，环形磁体内设置有用于单晶硅棒穿设的拉晶通道，环形磁体靠近硅液设置，用于在硅液内形成勾型磁场。所述勾型磁场在所述硅液的液面的磁场强度大于或者等于0.1毫特。硅液内部的勾型磁场可以有效抑制硅液的纵向热对流、横向热对流以及其他方向的热对流，抑制了硅液在多个方向的热对流。这样，就可以减少硅液对坩埚壁的冲刷，降低硅液中的杂质含量，提高了拉晶质量。而且，磁控拉晶装
2023-06-15
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一种拉晶炉的拉晶机构.pdf
本发明提供一种拉晶炉的拉晶机构，包括：热屏蔽反射器，位于坩埚上方，围绕坩埚形成一个中央开口，使由坩埚内熔体提拉生长的晶锭从所述中央开口穿过；籽晶夹，位于坩埚上方，设有固定结构夹持籽晶；提拉部件，与所述籽晶夹连接，控制所述籽晶夹在由坩埚内熔体提拉生长晶锭的提拉方向上提升或下降；其中，所述籽晶夹具有在垂直所述提拉方向上的横向延伸部分，且所述籽晶夹在垂直于所述提拉方向的平面上的投影覆盖由坩埚内熔体提拉生长的晶锭在所述平面上的投影。本发明的拉晶机构使晶锭顶端的热场更加稳定，明显改善了晶锭前端部分的均匀性和内部缺陷
2023-06-17
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