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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114232071A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202111396573.7(22)申请日2021.11.23(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区通江西路218号(72)发明人叶钢飞傅林坚朱亮胡建荣叶雷江梁晋辉魏怡凡曹建伟(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)C30B15/30(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图19页(54)发明名称一种单晶炉拉晶装置(57)摘要本申请涉及单晶炉,尤其涉及一种单晶炉拉晶装置,包括:机架;外轴、内轴,夹持机构,夹持机构连接于外轴的底部,以及驱动机构包括:第一驱动组件,第一驱动组件固定于固定座上并作用于外轴,用于驱动外轴和内轴在第一方向上移动;第二驱动组件,第二驱动组件固定于移动座上并作用于内轴,用于独立驱动内轴在第一方向上移动;以及旋转驱动组件,旋转驱动组件固定于移动座上并作用于外轴,用于驱动外轴旋转。本申请采用内轴和外轴分别提升的方式,在晶棒缩颈从而得到夹持部,在驱动下提升外轴和托板,再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩,并以预设的速度进行拉晶,从而使得拉制出的晶棒的重量作用于托板上,减小细晶的受力。CN114232071ACN114232071A权利要求书1/2页1.一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,包括:机架,所述机架包括;固定座,所述固定座固定;移动座,所述移动座具有第一方向移动的自由度;外轴,所述外轴呈中空,所述外轴连接于所述移动座上且具有轴向旋转的自由度;内轴,所述内轴位于所述外轴的内部,且所述内轴与所述外轴呈共轴,所述内轴连接于所述外轴,且具有第一方向移动的自由度;夹持机构,所述夹持机构连接于所述外轴的底部,所述夹持机构包括:承重杆,所述承重杆连接于所述外轴的底部;托板,所述托板固定连接于所述承重杆上;以及夹块,所述固定于所述托板上,所述夹块至少具有两个,且所有夹块关于所述内轴的中心轴呈中心对称,所有夹块之间形成夹持空间;以及驱动机构,所述驱动机构包括:第一驱动组件,所述第一驱动组件固定于所述固定座上并作用于所述外轴,用于驱动所述外轴和所述内轴在第一方向上移动;第二驱动组件,所述第二驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述内轴,用于独立驱动所述内轴在第一方向上移动;以及旋转驱动组件,所述旋转驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述外轴,用于驱动所述外轴旋转。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,所述固定座包括第一座和第二座,所述第一座和所述第二座沿第一方向布置,所述移动座容置于所述第一座和第二座之间;所述外轴穿设并连接于所述移动座和所述第二座上。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,所述外轴与内轴之间设置有定位组件,所述定位组件包括:定位套,所述定位套固定于所述外轴的内壁上,所述定位套的中心位置具有方形通道,所述方形通道与所述内轴呈共轴设置;方轴,所述方轴穿设于所述方形通道内,且与所述方形通道的内壁贴合,所述方轴连接于所述内轴上,且与所述内轴共轴设置。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,在内轴与外轴之间设置有密封组件,所述密封组件包括:环形连接座,所述环形连接座位于所述内轴与所述外轴之间,所述环形连接座与所述外轴共轴设置,且所述环形连接座的顶部固定连接于所述外轴上;环形密封件,所述环形密封件固定于所述环形连接座的底部,且所述环形密封件的侧壁与所述内轴相抵触。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,所述承重杆具有多个,所述承重杆轴向均匀分布于所述外轴的底部,且所述承重杆沿第一方向设置;所述托板呈环形且与所述外轴共轴设置,所述夹块均匀分布于所述托板上。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,每个所述夹块的设置方向经过所述托板的圆心,所述夹块位于所述托板的上方且夹块的第一端与托板转动连接,每2CN114232071A权利要求书2/2页个所述夹块的第二端朝向所述托板的圆心,且所有夹块的第二端之间形成所述夹持空间;其中,所述夹块的下底面可抵触于托板上,使得所述夹块被限位于所述托板上方。7.根据权利要求6所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,所述托板上方设置有隔离罩,所述隔离罩罩设所述夹持空间;所述隔离罩具有锥形顶部,在所述锥形顶部上开设有通孔,所述通孔与所述内轴呈共轴设置。8.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置,其特征在于,所述第一驱动组件包括:丝杆,所述丝杆沿第一方向设置,且丝杆连接于所述固定座上,且所述丝杆通过螺纹与所述移动座连接;第一电机,所述第一电机固定于所述固定座上,第一电机连接并作用于所述丝杆轴