一种单晶炉拉晶装置.pdf
春兰****89
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相关资料
一种单晶炉拉晶装置.pdf
本申请涉及单晶炉,尤其涉及一种单晶炉拉晶装置,包括:机架;外轴、内轴,夹持机构,夹持机构连接于外轴的底部,以及驱动机构包括:第一驱动组件,第一驱动组件固定于固定座上并作用于外轴,用于驱动外轴和内轴在第一方向上移动;第二驱动组件,第二驱动组件固定于移动座上并作用于内轴,用于独立驱动内轴在第一方向上移动;以及旋转驱动组件,旋转驱动组件固定于移动座上并作用于外轴,用于驱动外轴旋转。本申请采用内轴和外轴分别提升的方式,在晶棒缩颈从而得到夹持部,在驱动下提升外轴和托板,再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩,并以预设的
一种单晶拉晶炉.pdf
本申请公开了一种单晶拉晶炉,所述拉晶炉的炉盖上开设至少两个用于容纳提升杆的通孔,所述提升杆的上部与提升驱动部件连接,下部与用于承载保温桶的提升装置连接,所述提升驱动部件用于驱动所述提升杆带动所述提升装置上移使所述保温桶离开炉体主室,以使所述炉体主室内的配件与炉壁进行直接的热交换。本申请提供的上述单晶拉晶炉,能够将保温桶与热场内部配件脱离,使内部配件与炉台内壁直接进行换热,从而大幅度提升冷却能力,缩短拉晶炉的冷却时间。
一种硬轴单晶炉的拉晶装置.pdf
本申请涉及单晶炉,尤其一种硬轴单晶炉的拉晶装置,包括:轴主体,轴主体位于单晶炉本体的内部,且与单晶炉本体呈共轴设置,轴主体具有竖直方向移动的自由度和绕轴旋转的自由度;提升机构,提升机构连接于机架上,用于驱动轴主体在上升或下降;旋转机构,旋转机构连接于机架上,用于驱动轴主体绕轴旋转。利用轴主体代替现有技术中的软性钨合金缆绳进行拉晶,由于轴主体为硬性质地,在晶体旋转过程中不会发生晃动,从而提高拉晶品质,解决了现有技术中拉晶时晶棒晃动较大的技术问题;达到减小晶棒晃动的技术效果。
单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉.pdf
本发明提供了一种单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉,属于半导体技术领域。单晶硅拉晶控制装置包括:电源模块,电源模块的一端与坩埚轴连接,另一端与籽晶提拉结构连接,用于提供电信号以在籽晶提拉结构固定的晶体与石英坩埚内的硅溶液接触时,在坩埚轴、石英坩埚、石墨坩埚、硅溶液、晶体和籽晶提拉结构之间形成电流回路;测量模块,用于实时测量电流回路中的实际电流值;控制模块,用于根据晶体尾部的目标直径确定目标电流值,将实际电流值与目标电流值比较,根据比较结果控制籽晶提拉结构的晶体提拉速度和/或加热器的功率。本发明能够对单
一种单晶炉拉晶控制的方法及装置.pdf
本申请公开了一种单晶炉拉晶控制方法及装置,可以应用于晶体生长技术领域。该方法中,根据等径长度计算晶棒的预估长度;判断晶棒的隔离最大长度与预估长度之差是否达到预设的保护长度;若晶棒的隔离最大长度与预估长度之差大于保护长度,则,控制单晶炉再次执行等径操作并获得该次等径操作的等径长度,并返回执行根据等径长度计算晶棒的预估长度的操作;若晶棒的隔离最大长度与预估长度之差达到保护长度,则,控制单晶炉执行收尾操作。如此,通过判断晶棒的隔离最大长度与预估长度之差是否达到预设的保护长度,保证制备合理长度的晶棒,使得晶棒提升