用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110004490A(43)申请公布日2019.07.12(21)申请号201910347790.3(22)申请日2019.04.28(71)申请人浙江启瑞电子有限公司地址324300浙江省衢州市开化工业园区城关工业功能区一期1号路(72)发明人吴胜登祝明敏何晓春何晓东(74)专利代理机构北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427代理人陈娟(51)Int.Cl.C30B28/06(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法(57)摘要本发明涉及金属硅冶炉上料技术领域，尤其涉及用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法，解决了现有技术中存在的金属硅冶炉一次性上料后，无法满足达到最大投料量，导致坩埚使用效率低下，产品成品率低的缺点，包括炉体及设置于炉体内部的石英坩埚，该石英坩埚的内部放置有硅料，且炉体的顶部设置有氩气进管，所述石英坩埚的底部设置有TC2传感器，且炉体的顶部一侧设置有TC1传感器，所述氩气进管的顶部设置有红外传感器GW，本发明在多晶铸锭炉中，采用边熔化边加料的新工艺，通过自投研发的推料器自动控制并安全可靠的完成整个加料过程，投料量可以完成到最大投料量。CN110004490ACN110004490A权利要求书1/1页1.用于金属硅冶炉的持续上料机构，包括炉体(1)及设置于炉体(1)内部的石英坩埚(2)，该石英坩埚(2)的内部放置有硅料(3)，且炉体(1)的顶部设置有氩气进管(4)，其特征在于，所述石英坩埚(2)的底部设置有TC2传感器(22)，且炉体(1)的顶部一侧设置有TC1传感器(21)，所述氩气进管(4)的顶部设置有红外传感器GW(41)，且氩气进管(4)的一侧通过连通管设置有绞龙(71)，该绞龙(71)的上方连通设置有推料器(6)；所述推料器(6)的顶部设置有推转料电机(8)，且推转料电机(8)的输出端键连接有转轴(81)，该转轴(81)的外侧设置有轴套(82)，且转轴(81)的底部设置有推转叶片(83)，所述推料器(6)的顶部一侧开设有吸料口(61)，且推料器(6)的顶部另一侧开设有下人孔(62)。2.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述推转料电机(8)通过连接器(9)设置于所述推料器(6)的顶部。3.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述转轴(81)与所述推料器(6)之间设置有机封(84)。4.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述轴套(82)为氟塑轴套。5.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述绞龙(71)的一侧设置有绞龙减速电机(7)，且绞龙减速电机(7)的输出端通过联轴器与所述绞龙(71)连接。6.根据权利要求5所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述绞龙(71)的上表面与所述推料器(6)连通，且绞龙(71)的底部与连通管连通。7.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述氩气进管(4)的顶部设置有观察口。8.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述推料器(6)的底部固定设置有支撑脚(5)。9.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构，其特征在于，所述转轴(81)的两侧均设置有转轴支撑(85)。10.根据权利要求1所述的用于金属硅冶炉的持续上料机构的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：熔化阶段，进入压力模式，压力为200-600mbar、温度200℃-1530℃，结合顶部观察孔及顶部红外传感器GW监控熔化情况，判断硅料是否完全熔化，确认完全熔化后，暂停，边加料边化料结束后手动进入下一步后继续运行配方；S2：长晶阶段，隔热笼逐渐提升，持续运行，结合功率曲线的变化与观察孔查看情况，判断记录中央长晶透顶，进入边角长晶后，观察功率曲线的变化，必须走平0.5-1h，判断边角长晶结束，否则手动进入暂停或跳下一步；S3：退火阶段，控制模式从温度模式自动进入功率模式，功率曲线缓慢平稳下降，隔热笼降至最低位置退火后自动跳下一步；S4：冷却阶段，功率下降至零，隔热笼分步缓慢提升至30mm，温度曲线平稳下降，至450℃以下时，出炉。2CN110004490A说明书1/3页用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法技术领域[0001]本发明涉及金属硅冶炉上料技术领域，尤其涉及用于金属硅冶炉的持续上料机构及其使用方法。背景技术[0002]目前多晶铸锭炉生产工艺是打开炉子一次性坩埚投满料进炉进行生产，根椐料的形状，投料量一般会在450-850KG之间。打开炉子把装满