一种陶瓷基板的烧结方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110372392A(43)申请公布日2019.10.25(21)申请号201910589029.0(22)申请日2019.07.02(71)申请人无锡元核芯微电子有限责任公司地址214000江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园11号楼201-1(72)发明人彭海(74)专利代理机构连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)32330代理人刘刚(51)Int.Cl.C04B35/581(2006.01)C04B35/622(2006.01)C04B41/88(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种陶瓷基板的烧结方法(57)摘要本发明公开了一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于，包括(1)混料：按重量份数计，取陶瓷粉末放入磨筒中研磨成浆料，然后加入1份分散剂，15～20份烧结助剂，得到混合料、(2)制作陶瓷坯片：通过流延的方法制得陶瓷坯片、(3)制作生坯组、(4)排胶去粘、(5)二次烧结成型、(6)降温取物，通过在将陶瓷基板进行在烧结炉中经过一次低温烧结后，然后将炉内温度上升到指定温度后进行二次烧结，两次烧结材料生长完全、结晶性好，再次高温烧结粒度增大，同时也可修饰表面形貌、降低比表面积、降低金属单质含量，同时也可以略微增大粒子粒度。CN110372392ACN110372392A权利要求书1/1页1.一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)混料：按重量份数计，取陶瓷粉末放入磨筒中研磨成浆料，然后加入1份分散剂，15～20份烧结助剂，得到混合料；(2)制作陶瓷坯片：通过流延的方法制得陶瓷坯片；(3)制作生坯组：将5-8片陶瓷坯片直接堆叠，放入密封袋真空包装，在等静压机进行层压，获得5-8层堆叠的陶瓷生坯组；将5-8层堆叠的陶瓷生坯组进行冲孔、用填孔导体浆料填孔，在5-8层堆叠的陶瓷生坯组的顶面和底面分别用印刷导体浆料印刷电路图形，然后在自动成型压机上模压成型，获得待烧陶瓷生坯组；(4)排胶去粘：将待烧陶瓷生坯组放入排胶炉中进行两步排胶去粘；获得烧结中间过渡体；(5)二次烧结成型：将陶瓷中间过渡体放置烧结炉中，陶瓷中间过渡体在烧结炉中先通过低温进行一次烧结，然后对烧结炉进行升温，使得陶瓷中间过渡体在烧结炉上升到指定温度后进行二次烧结；(6)降温取物：两次烧结完成后，将烧结炉降温，当温度低于100℃后，取出烧结物，即可获得共烧陶瓷基板。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于：陶瓷粉末的组成成分为：氮化铝50～64份、氮化硼30～40份、氧化铍10～20份、氧化铝30～40份、石墨烯纳米颗粒2～4份、氟化钙5～15份、羟甲基纤维素3～6份、去离子水15～20份、硅粉5～10份、增塑剂1份、粘结剂1份。3.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于：陶瓷坯片的厚度应控制在0.5mm以下。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于：分散剂的成分聚异丁烯多丁二酰亚胺类无灰添加剂。5.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于：烧结助剂的成分为CaO、MgO的混合物。6.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的烧结方法，其特征在于：其特征在于：降温取物(6)的过程中，降温速率为10-15℃/min、气流量为300-4500NL/min。2CN110372392A说明书1/3页一种陶瓷基板的烧结方法技术领域：[0001]本发明涉及陶瓷加工技术领域，特别涉及一种陶瓷基板的烧结方法。背景技术：[0002]陶瓷是陶器和瓷器的总称。人们早在约8000年前的新石器时代就发明了陶器。常见的陶瓷材料有粘土、氧化铝、高岭土等。陶瓷材料一般硬度较高，但可塑性较差。除了使用于食器、装饰上外，陶瓷在科学、技术的发展中亦扮演着重要角色。陶瓷原料是地球原有的大量资源黏土经过淬取而成，陶瓷基板是指铜箔在高温下直接键合到氧化铝或氮化铝陶瓷基片表面上的特殊工艺板，所制成的超薄复合基板具有优良电绝缘性能，高导热特性，优异的软钎焊性和高的附着强度，并可像PCB板一样能刻蚀出各种图形，具有很大的载流能力。因此，陶瓷基板已成为大功率电力电子电路结构技术和互连技术的基础材料。[0003]但是在目前的陶瓷基板烧结过程中，烧结温度一直是基本不动的，从烧结开始至烧结结束一直是恒温的，这种情况下，陶瓷的材料内部会有晶格缺陷，使得陶瓷基板在后期烧结完成后使用效果降低。发明内容：[0004]本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种陶瓷基板的烧结方法，解决了现有技术存在的不足。[0005]为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：[0006]一种陶瓷基板的烧结方法，包括如下步骤：[0007](1)混料：按重量份数计，取陶瓷粉末放入磨筒