一种陶瓷基板的高温烧结设备及其烧结方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113237334A(43)申请公布日2021.08.10(21)申请号202110353002.9(22)申请日2021.03.31(71)申请人汪洋地址518060广东省深圳市南山区南海大道3688号(72)发明人汪洋王力中柴语娟(74)专利代理机构成都厚为专利代理事务所(普通合伙)51255代理人夏柯双(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D1/00(2006.01)F27D5/00(2006.01)F27D19/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称一种陶瓷基板的高温烧结设备及其烧结方法(57)摘要本发明公开了一种陶瓷基板的高温烧结设备，包括箱体装置，加热装置设置在箱体装置上，温度检测装置用于监测箱体装置内部的温度，温度检测装置与加热装置电连接，基板承载装置设置在箱体装置的底部上；基板承载装置包括基板承载部件，基板承载部件包括边框，边框内部被若干互相垂直的分割板分割成独立的限位框，限位框中设置有多个用于承载陶瓷基板的支撑杆，所有的支撑杆互相平行且等间距设置，支撑杆的一端设置在边框的一边上，支撑杆的另一端延伸至边框另一边的外侧且与传动组件相连，分割板上设置有与支撑杆配合的旋转孔，传动组件与动力组件相连，动力组件设置在箱体装置外侧。在本烧结设备中，有效的增加了陶瓷基板高温烧结的合格率。CN113237334ACN113237334A权利要求书1/2页1.一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：包括箱体装置、加热装置、基板承载装置和温度检测装置，阶梯式升降温的所述加热装置设置在保温式的所述箱体装置上，所述温度检测装置用于监测所述箱体装置内部的温度，所述温度检测装置与所述加热装置电连接，所述基板承载装置设置在所述箱体装置的底部上；所述基板承载装置包括若干层可堆叠的基板承载部件，相邻两层所述基板承载部件之间通过固定组件连接，所述基板承载部件包括边框（1）、支撑杆（2）、分割板（3）和传动组件，所述边框（1）呈方形，且所述边框（1）内部被若干互相垂直的所述分割板（3）分割成独立的限位框（23），所述限位框（23）中设置有多个用于承载所述陶瓷基板（22）的所述支撑杆（2），所述陶瓷基板（22）的上设置有A面（25）以及所述A面（25）相对的B面（26），所述陶瓷基板（22）的所述B面（26）与往复式转动的所述支撑杆（2）接触，所有的所述支撑杆（2）互相平行且等间距设置，所述支撑杆（2）的一端设置在所述边框（1）的一边上且所述支撑杆（2）与此边垂直，所述支撑杆（2）的另一端延伸至所述边框（1）另一边的外侧且与所述传动组件相连，所述分割板（3）上设置有与所述支撑杆（2）配合的旋转孔，所述传动组件与动力组件（10）相连，所述动力组件（10）设置在所述箱体装置外侧，所述箱体装置上设置有用于监测所述陶瓷基板（22）在高温状态下收缩的检测组件。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：所述传动组件包括齿轮（4）、齿条（5）、限位轮（6）、推板（7）和推杆（8），每个所述支撑杆（2）的端部均设置有所述齿轮（4），所述齿轮（4）与所述齿条（5）配合，所述齿条（5）设置在所述齿轮（4）与可自由转动的所述限位轮（6）之间，所述限位轮（6）设置在所述边框（1）的外壁上，所述齿条（5）上设置有与所述推板（7）配合的卡紧槽（9），只能横向往复运动的所述推杆（8）的一端与竖向设置的所述推板（7）固定连接，所述推杆（8）的另一端与所述动力组件（10）相连。3.根据权利要求2所述的一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：所述推杆（8）与所述推板（7）的中部相连，所述推板（7）在运动过程中不与所述边框（1）接触。4.根据权利要求2或3所述的一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：所述箱体装置包括箱体和箱门（11），所述箱门（11）设置在所述箱体侧壁上且与所述箱体可密封配合，所述箱体包括外壳体（12）、承压层（13）、真空保温层（14）、隔热层（15），所述箱体从外到内依次设置有所述外壳体（12）、承压层（13）、真空保温层（14）和所述隔热层（15），且均设置有与所述推杆（8）配合的通孔，所述承压层（13）上的通孔中设置有与所述推杆（8）配合的密封件（16）。5.根据权利要求4所述的一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：所述隔热层（15）的底部设置有导向槽（17），与所述隔热层（15）接触的所述边框（1）上设置有与所述导向槽（17）配合的导向块（18）。6.根据权利要求4所述的一种陶瓷基板的高温烧结设备，其特征在于：所述加热装置包括电加热组件（19）和微控制器，所述电加热组件（19）设置在所述隔热层（15）的