一种单晶加热炉及其高效保温方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110904496A(43)申请公布日2020.03.24(21)申请号201911137981.3(22)申请日2019.11.20(71)申请人浙江法曼工业皮带有限公司地址324200浙江省衢州市常山县白石镇曹会关村(72)发明人李慧(74)专利代理机构北京科家知识产权代理事务所(普通合伙)11427代理人陈娟(51)Int.Cl.C30B11/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种单晶加热炉及其高效保温方法(57)摘要本发明涉及化工设备技术领域，尤其涉及一种单晶加热炉及其高效保温方法,解决了现有技术中的目前加热器，保温罩，保温盖等组成的加热装置在加热过程中气密性不够高，导致保温效果差的问题，包括炉体、上保温罩、下保温罩、中保温罩、石墨碳毡和石墨坩埚，所述炉体内腔中设置有坩埚托杆，且坩埚托杆的上部设置坩埚托盘，且坩埚托盘上放置有石墨坩埚，石墨坩埚空腔中安装有石英坩埚，所述石英坩埚上设置有导流筒，所述炉体内底面设置有石英环，通过将单晶加热炉的加热主体设置为圆弧U型状，且由石墨碳毡和石英层组成，并且在隔热的石墨碳毡外侧增加石英层材质的真空容器，增加了炉体气密性。CN110904496ACN110904496A权利要求书1/1页1.一种单晶加热炉，包括炉体、上保温罩(1)、下保温罩(6)、中保温罩(3)、石墨碳毡(11)和石墨坩埚(15)，其特征在于，所述炉体内腔中设置有坩埚托杆(5)，且坩埚托杆(5)的上部设置坩埚托盘(4)，且坩埚托盘(4)上放置有石墨坩埚(15)，石墨坩埚(15)空腔中安装有石英坩埚(18)，所述石英坩埚(18)上设置有导流筒(2)；所述炉体内底面设置有石英环(8)，且石英环(8)和托杆护套(9)之间设置有通过电极螺栓固定的电极(12)，所述石英环(8)的上部设置有下保温罩(6)，下保温罩(6)的上部设置有中保温罩(3)，中保温罩(3)的上部连接有上保温罩(1)，所述上保温罩(1)的上部连接至所述保温盖(16)的底部；所述上保温罩(1)和所述石英坩埚(18)之间设置有加热器(14)；所述电极护套(7)的四周设置石墨碳毡(11)，并在隔热的石墨碳毡(11)外侧增加石英层材质的真空容器。2.根据权利要求1所述的一种单晶加热炉，其特征在于，所述导流筒(2)的上部设置有保温盖(16)，且保温盖(16)的上部压设有压环(17)。3.根据权利要求1所述的一种单晶加热炉，其特征在于，所述电极(12)的外部设置有电极护套(7)，且电极(12)通过电极螺栓(13)安装在炉底护盘(10)的上部。4.根据权利要求1所述的一种单晶加热炉，其特征在于，所述坩埚托杆(5)的外部设置有托杆护套(9)。5.根据权利要求1所述的一种单晶加热炉，其特征在于，所述炉体的四周设置石墨碳毡(11)，并在隔热的石墨碳毡(11)外侧增加石英层材质的真空容器，真空容器的厚度为2cm，且真空容器由两块厚度为0.5cm的石英板组成。6.根据权利要求5所述的一种单晶加热炉，其特征在于，所述真空容器的内壁镀银，且真空容器的外型为笼体状。7.根据权利要求1所述的一种单晶加热炉的高效保温方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、保温结构的安装设置：利用石墨坩埚(15)外围设置的加热器(14)，使且加热器(14)还连接有电极(12)，加热器(14)的外围从上之下设置有上保温罩(1)、中保温罩(3)和下保温罩(6)；S2、在加热炉的炉底安装炉底护盘(10)，且炉底护盘(10)上还安装有石墨碳毡(11)，炉底护盘(10)的设置在石英环(8)上，并且在加热炉的炉上部设置有保温盖(16)和压环(17)；S3、保温的功能实现：加热器(14)电性连接有温度控制系统，配合加热炉上设置的上保温罩(1)、中保温罩(3)和下保温罩(6)，实现对加热炉的有效保温，并利用将单晶加热炉的加热主体设置为圆弧U型状，且由石墨碳毡(11)和石英层组成，并且在隔热的石墨碳毡(11)外侧增加石英层材质的真空容器，增加炉体气密性。8.根据权利要求7所述的一种单晶加热炉的高效保温方法，其特征在于，所述温度控制系统设置参数为：温度处于0℃～200℃段时加热0.4h、温度处于200℃～600℃段时加热2.5h、温度处于600℃～1050℃段时加热3h、温度处于1050℃时保温3h。2CN110904496A说明书1/3页一种单晶加热炉及其高效保温方法技术领域[0001]本发明涉及化工设备技术领域，尤其涉及一种单晶加热炉及其高效保温方法。背景技术[0002]原有的单晶炉加工流程，单晶炉内部为U型，硅料倒入后，由加热系统进行加热，用于融化硅料并使炉体保持在一定温度下使硅进