一种快速确定稳温埚位的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111020701A(43)申请公布日2020.04.17(21)申请号201911387671.7(22)申请日2019.12.27(71)申请人内蒙古中环光伏材料有限公司地址010070内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区宝力尔街15号(72)发明人刘有益高利强许建张磊王建平周泽郭志荣(74)专利代理机构天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)12213代理人栾志超(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/26(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图4页(54)发明名称一种快速确定稳温埚位的方法(57)摘要本发明提供一种快速确定稳温埚位的方法，步骤包括：固定：将CCD摄像机固定在炉盖上；校准：调整所述CCD摄像机，使籽晶、导流筒和石英坩埚内硅液面均投影至显示器图形界面内并形成几何图形，且使所述籽晶投影中心与所述显示器图形界面中心重合；对焦：调整所述CCD摄像机，统一所述显示器图形界面大小；量化：从所述显示器图形界面中的几何图形中确定并量化稳温埚位位置。本发明可快速找到稳温埚位的位置，精准度高且适普性强，不仅能保证单晶生长稳定而且还降低单晶晶线断棱次数，提高生产效率，保证产品质量。CN111020701ACN111020701A权利要求书1/1页1.一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，步骤包括：固定：将CCD摄像机固定在炉盖上；校准：调整所述CCD摄像机，使籽晶、导流筒和石英坩埚内硅液面均投影至显示器图形界面内并形成几何图形，且使所述籽晶投影中心与所述显示器图形界面中心重合；对焦：调整所述CCD摄像机，统一所述显示器图形界面大小；量化：从所述显示器图形界面中的几何图形中确定并量化稳温埚位位置。2.根据权利要求1所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，在所述固定过程中，将所述CCD摄像机通过固定装置固定在所述炉盖上并垂直于所述炉盖外壁设置；所述CCD摄像机位于所述导流筒斜上方一侧。3.根据权利要求2所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，所述CCD摄像机置于所述固定装置的同一个位置处固定，优选地，所述CCD摄像机置于所述固定装置靠近所述炉盖中心轴线一侧设置。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，所述校准具体包括：调整所述CCD摄像机，先将所述籽晶和所述导流筒投影均置于所述显示器图形界面内，同时将所述石英坩埚内硅液面投影置于所述籽晶和所述导流筒投影之间并远离所述籽晶投影一侧设置；再将所述籽晶投影中心和所述导流筒投影中心同轴设置，并均与所述显示器图形界面中心重合。5.根据权利要求4所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，在所述校准过程中，所述显示器图形界面为正方形结构，所述导流筒投影相对于所述显示器图形界面中心轴线对称设置。6.根据权利要求5所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，在所述校准过程中，所述硅液面投影相对于所述显示器图形界面纵向中心轴线对称设置。7.根据权利要求1-3、5-6任一项所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，所述对焦包括调整所述CCD摄像机并统一所述显示器图形界面大小，使所述导流筒投影水平直径两端点分别距离所述显示器图形界面边界的长度相同。8.根据权利要求7所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，所述导流筒投影水平直径两端距离所述显示器图形界面边界的长度均为0-10mm。9.根据权利要求8所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，所述量化包括连接所述显示器图形界面任一对角线分别与所述硅液面投影和所述导流筒投影的连接点，并使所述连接点直线对称设置。10.根据权利要求9所述的一种快速确定稳温埚位的方法，其特征在于，在所述显示器图形界面内，所述连接点直线距离为12-14mm时，即可确定所述稳温埚位位置。2CN111020701A说明书1/7页一种快速确定稳温埚位的方法技术领域[0001]本发明属于直拉硅单晶拉制技术领域，尤其是涉及一种快速确定稳温埚位的方法。背景技术[0002]CZ法生长硅单晶工艺过程包括装料、熔料、稳温、引晶、放肩、转肩、等径和收尾，熔料过程就是硅料熔化过程，而硅料全部熔化后，熔体必须稳定一段时间以达到熔体温度和熔体流动的稳定，这一过程即为稳温。如果温度过低，籽晶会沿液面凝固，温度过低熔接不充分缩颈后将很难生长出合格的单晶；如果温度过高就会熔断籽晶，无法正常引晶。在稳温过程中需要确定稳温埚位，即导流筒下沿与熔硅液面的距离，若埚位偏低，引晶较为困难，晶体成晶率低；若埚位偏高，在等径过程中容易发生液面抖动，造成晶体断棱；故，稳温埚位对稳温温度的控制有直接影响，决定着后续引晶能否成功、长晶是否顺利，是单晶硅棒拉制的关