碳化硅化学气相沉积炉的进气装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111560597A(43)申请公布日2020.08.21(21)申请号202010560400.3(22)申请日2020.06.18(71)申请人湖南铠欣新材料科技有限公司地址413000湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半(72)发明人贺鹏博周帆(74)专利代理机构长沙轩荣专利代理有限公司43235代理人张勇(51)Int.Cl.C23C16/32(2006.01)C23C16/448(2006.01)C23C16/455(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称碳化硅化学气相沉积炉的进气装置(57)摘要本发明提供了一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，包括：储液室、汽化室、混合室和稀释室，所述储液室设置有一注液口，所述混合室设置有一混合管道，所述稀释室设置有一稀释管道，所述混合管道用于通入氢气，所述稀释管道用于通入氩气，所述汽化室设置在所述储液室上方，所述汽化室通过一导液汽化装置与所述储液室连通，所述汽化室与混合室通过管道相互连通，所述混合室与稀释室通过管道连通，所述稀释室设置有一输出管道，所述输出管道用于连通沉积炉。本发明结构设计合理，操作便捷，进气过程气体不会液化堵塞管道，能够有效生成高纯度的MTS气体并且气体内各成分比例稳定。CN111560597ACN111560597A权利要求书1/1页1.一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，包括：储液室、汽化室、混合室和稀释室，所述储液室设置有一注液口，所述混合室设置有一混合管道，所述稀释室设置有一稀释管道，所述混合管道用于通入氢气，所述稀释管道用于通入氩气，所述汽化室设置在所述储液室上方，所述汽化室通过一导液汽化装置与所述储液室连通，所述汽化室与混合室通过管道相互连通，所述混合室与稀释室通过管道连通，所述稀释室设置有一输出管道，所述输出管道用于连通沉积炉。2.根据权利要求1所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述汽化室与混合室之间的管道上设置有第一阀门和第一质量流量控制器，所述混合管道上设置有第二阀门和第二质量流量控制器，所述混合室与稀释室之间的管道上设置有第三阀门和第三质量流量控制器，所述稀释管道上设置有第四阀门和第四质量流量控制器。3.根据权利要求1所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述汽化室内设置有一换热管，所述换热管呈螺旋状设置，所述换热管的两端分别穿过所述汽化室的内壁连通外界，所述换热管用于流通恒温液体。4.根据权利要求3所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述汽化室内设置有温度传感器和压力传感器。5.根据权利要求1所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述储液室的底部设置有水平多孔材料，所述储液室内竖直设置有竖直多孔材料，所述竖直多孔材料将所述储液室分隔成为多个沉降吸附区。6.根据权利要求5所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述水平多孔材料和竖直多孔材料均由碳化硅、二氧化硅、凹凸棒石、高岭土、氧化镁按照43％:15％:20％:12％:10％的比例混合烧结而成。7.根据权利要求1所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述导液汽化装置由导液棒、加热模块和连通管道组成，所述连通管道连通所述汽化室和储液室的开口，所述连通管道的上部设置有加热室，所述连通管道的两端口设置有挡板，所述导液棒穿设在所述连通管道两端的挡板上，所述加热模块设置在所述加热室内。8.根据权利要求7所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述加热模块为加热电阻丝，所述加热电阻丝的两端分别穿过所述连通管道的外壁接通正负极电源，所述加热电阻丝的中段呈螺旋状，所述加热电阻丝环绕所述导液棒设置。9.根据权利要求7所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述导液棒的材质为多孔碳化硅陶瓷，所述导液棒的孔隙率为60％～85％，孔径大小为5μm～500μm。10.根据权利要求7所述的碳化硅化学气相沉积炉的进气装置，其特征在于，所述导液棒共设置有多根，所述导液棒呈环形均匀地设置在所述连通管道内部。2CN111560597A说明书1/5页碳化硅化学气相沉积炉的进气装置技术领域[0001]本发明涉及气相沉技术领域，特别涉及一种碳化硅化学气相沉积炉的进气装置。背景技术[0002]化学气相沉积(ChemicalVapourDeposition，CVD)常用来生产各种高纯固体材料。化学气相沉积碳化硅是通过含有硅、碳元素的小分子前驱物在沉积室内一定条件下分解、反应生成的薄膜材料。一甲基三氯硅烷(MTS)是一种工业上常用的化学气相沉积碳化硅液态前驱物，反应方程式如下：CH3SiCl3→SiC+3HCl，