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一种TFT-LCD基板玻璃窑炉环境控制装置及控制方法.pdf
2023-06-16
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山梅****ai
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本发明公开了一种TFT‑LCD基板玻璃窑炉环境控制装置及控制方法，所述装置包括连接的铂金通道和窑炉，铂金通道和窑炉位于玻璃窑炉内，玻璃窑炉位于外部大气环境内。铂金通道设置于玻璃窑炉后端，外部大气环境设置于窑炉区域和通道封闭区域外部，各区域之间形成单独空间压力仓，玻璃窑炉的前端位和后端部分别设有进风装置和排风装置，通道区域的前端位和后端部分别设有进风装置和排风装置，使窑炉区域和通道区域向外部大气内渗透，使玻璃窑炉前端和后端面风速及环境压差得到控制，使通道区域前端和后端面风速及环境压差得到控制，使窑炉区域和通
2023-06-16
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