一种改善双层模具铸锭表面缺陷的方法.pdf
Ja****44
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一种改善双层模具铸锭表面缺陷的方法.pdf
本发明公开了一种改善双层模具铸锭表面缺陷的方法,涉及贵金属加工技术领域,用于解决现有技术中因双层石墨模具自上而下的散热顺序,导致铸锭表面存在缺陷的问题。包括:将设置有待熔铸材料的石墨模具放入熔铸炉,在所述石墨模具上表面设置厚度为100‑200mm的保温加热复合材料;向抽真空后的所述熔铸炉内充入惰性气体,在加热功率为35KW的条件下加热7min;冷却后得到铸锭。
一种改善CVD表面缺陷的方法.pdf
本发明公开了一种改善CVD表面缺陷的方法,包括以下步骤:把陪片与硅片进行清洗后,将两者的背面贴上白膜并放入CVD反应炉中进行化学气相沉淀过程,此过程分为两个阶段,第一阶段是使硅烷和一氧化二氮充满整个工艺腔,开始沉积为硅片做衬底;第二阶段是通入硅烷进行沉积,完成化学气相沉淀过程将两者取出,最后去除两者背面的白膜。所述白膜为耐高温的高分子塑料白膜,其光滑的高分子化合物使得硅片表面粗糙度进一步降低,并且白膜的粘性不会对硅片背面的氧化层造成影响,从而在化学气相沉淀过程中有效的抵挡住各种杂质,显著的减少CVD多晶硅
一种改善钛合金铸锭表面质量的方法.pdf
本发明属于钛合金铸锭熔炼技术领域,涉及一种改善钛合金铸锭表面质量的方法,包括:将二次熔炼后的钛及钛合金铸锭进行平头处理;将平头处理后的钛及钛合金铸锭在真空自耗电弧炉中进行炉内焊接;对炉内进行抽真空处理至真空值达到0.8Pa以下,漏率达到0.8Pa/min以下;设置炉内的起弧电流为6‑9KA,保持时间为10‑30min;打开设备电源,完成熔炼;冷却;炉室放气,将冷却后的钛合金铸锭取出进行车床扒皮处理。本发明通过延长保持时间和加大电流值在引弧期对铸锭进行预热,并对坩埚内壁进行烘烤,降低水汽附着程度,达到充足的
一种改善晶圆表面缺陷的刻蚀方法.pdf
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种改善晶圆表面缺陷的刻蚀方法,包括:步骤S1,提供一铝衬垫,于铝衬垫上制备具有暴露铝衬垫上表面的一接触孔的复合结构,且复合结构的上表面及接触孔的侧壁覆盖有一含氟聚合物层;步骤S2,采用等离子体刻蚀接触孔的侧壁上覆盖的含氟聚合物层;步骤S3,刻蚀去除复合结构的上表面覆盖的含氟聚合物层;步骤S4,对暴露出的接触孔和复合结构进行清洗;上述技术方案能够排除接触孔侧壁及复合结构的上表面残留的聚合物对铝衬垫的影响,从而改善晶圆表面的缺陷情况。
一种改善连铸船板钢表面缺陷的加热方法.pdf
本发明涉及一种改善连铸船板钢表面缺陷的加热方法,1)200~250mm厚坯料,总在炉时间设定为4~7h,高温段在炉时间为2.4~4.5h,其中二加热段、三加热段、均热段各单个区域时间控制在0.8~1.5h;2)三加热段加热温度控制在1180~1260℃,均热段加热温度控制在1170~1220℃,出炉温度控制在1180~1220℃;3)200mm≤厚度<220mm的坯料间距控制在200~500mm;220mm≤厚度<240mm的坯料间距控制在300~600mm;240mm≤厚度≤250mm的坯料间距控制在5