一种多晶硅还原炉的余热再利用系统.pdf
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一种多晶硅还原炉的余热再利用系统.pdf
本发明涉及多晶硅生产技术领域,具体涉及一种多晶硅还原炉的余热再利用系统,其包括:还原炉、蒸汽闪蒸罐一、蒸汽闪蒸罐二、高温水循环泵、高温水换热器、底盘水罐、底盘水循环泵、底盘水加热器、冷冻热水罐、冷冻热水循环泵、冷冻热水换热器、冷冻热水加热器、底盘水预热器、底盘水冷却器和排污水空冷系统;通过各部件的连通,对还原炉余热进行分级利用。采用本发明能够提升余热利用效率,减少热量浪费。
一种还原炉余热回收系统.pdf
本发明公开一种还原炉余热回收系统,包括还原炉底盘,所述还原炉底盘上设有冷却腔,所述冷却腔上连接有冷却水进水管和冷却水出水管,所述冷却水出水管管路上还设有尾气换热装置;所述还原炉底盘上还设有尾气管,所述尾气管与尾气换热装置连通。将经过底盘冷却腔的冷却水引流到尾气换热装置中,依靠还原炉底盘对冷却水进行升温后,然后再将冷却水导入夹套管中与温度较高的尾气进行热交换。采用一套水循环系统逐级进行冷却吸热,即可同时满足还原炉底盘和尾气的冷却需求,精简了设备数量;单一的冷却水来源便于余热回收设备更高效地进行热量回收利用。
一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统.pdf
本发明涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫,冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体),在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动,有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、
一种多晶硅还原炉生长系统.pdf
本申请公开了一种多晶硅还原炉生长系统,属于多晶硅生产技术领域,其包括炉体、上电极和下电极。上电极和下电极均安装于炉体内,且上电极位于炉体的顶部,下电极位于炉体的底部,上电极与下电极相对设置,且上电极和下电极均与炉体转动连接。硅芯安装于上电极与下电极之间,利用上电极和下电极能够带动硅芯转动。本发明公开的多晶硅还原炉生长系统通过设计旋转的上电极和下电极使硅棒在生长时进行旋转,解决了因炉内温场、流场分布不均匀而导致的硅棒出现阴阳面、凹坑以及在横梁处容易生长菜花料的问题,从而保证了硅棒的外观品质。
一种多晶硅还原炉电源系统.pdf
本发明公开了一种多晶硅还原炉电源系统,包括工频电源,工频电源的输出端连接于负载的两端,还包括高频电源和用于使高频电源与工频电源叠加的耦合谐振槽路,耦合谐振槽路设于高频电源的输出端,耦合谐振槽路的输出端连接于负载的两端。此种多晶硅还原炉电源系统中,工频电源与高频电源并列叠加运行为同一负载供电,硅棒内外温差梯度较小,硅棒内外温度分布更加均匀,可以防止硅芯熔化,减少硅芯机械应力,避免裂棒和系统停车,减少热点,使硅棒能够生长成的直径更大一些,生产效率得到提高;此种复合电源能够合理利用高频电源的集肤效应,以较小的电