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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111690833A(43)申请公布日2020.09.22(21)申请号201910185811.6(22)申请日2019.03.12(71)申请人上海韵申新能源科技有限公司地址201612上海市松江区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1(72)发明人张华芹程佳彪吴海龙(74)专利代理机构上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306代理人谢小军(51)Int.Cl.C22C1/02(2006.01)C22B9/04(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图3页(54)发明名称一种高温高效合金反应提纯炉及合金反应工艺(57)摘要本发明公开了一种高温高效合金反应提纯炉,包括内部中空设为反应腔体的炉体,所述反应腔体内设有坩埚,所述坩埚连接有传动系统,所述传动系统包括可伸入坩埚内的提拉装置和连接在坩埚外的传动装置,所述反应腔体连接有真空系统,所以反应腔体内设有加热系统,所述炉体连接有冷却系统,还包括控制柜和电源系统,所述传动系统、加热系统、冷却系统和真空系统分别与控制柜和电源系统相连;还公开了一种合金反应工艺;代替小型试验金属合成装置,能够大规模生产;通用性强,采用几大功能系统结合,适用多种半导体合金金属,不限于镓、镁、镉、碲等金属的合金。CN111690833ACN111690833A权利要求书1/1页1.一种高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述高温高效合金反应提纯炉包括内部中空设为反应腔体的炉体,所述反应腔体内设有坩埚,所述坩埚连接有传动系统,所述传动系统包括可伸入坩埚内的提拉装置和连接在坩埚外的传动装置,所述反应腔体连接有真空系统,所以反应腔体内设有加热系统,所述炉体连接有冷却系统,还包括控制柜和电源系统,所述传动系统、加热系统、冷却系统和真空系统分别与控制柜和电源系统相连。2.根据权利要求1所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述炉体的上端和/或下端设有可开合拆卸的炉盖,所述坩埚上端炉盖打开时从上端进行加料或出料,或所述坩埚通过传动装置在下端炉盖打开时从下端离开炉体以进行加料或出料。3.根据权利要求1所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述炉体壁上设有可开合拆卸的炉门,所述坩埚通过传动装置在炉门打开时从炉门口离开炉体以进行加料或出料。4.根据权利要求1所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述提拉装置包括升降轴和搅拌装置,所述搅拌装置在升降轴的带动下下沉进入坩埚内旋转搅拌或在升降轴的带动下上升离开坩埚。5.根据权利要求4所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述搅拌装置和升降轴上设有物料金属冷却籽晶,所述炉体设置在炉架上。6.根据权利要求1所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述冷却系统包括炉体夹套水冷、炉体底盘水冷和加热电极水冷。7.根据权利要求1至6之一所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述真空系统包括真空泵、过滤器和特定气体进气装置,所述真空泵通过管道经过滤器后再通过管道与所述炉体连接,所述过滤器和所述炉体的连接管道上连接特定气体进气装置。8.根据权利要求7所述的高温高效合金反应提纯炉,其特征在于,所述控制柜通过PLC控制软件控制炉体的加热温度、炉室的真空度、物料的旋转速度、提拉速度、真空度以及进行特定气体的进气控制。9.一种合金反应工艺,其特征在于,所述合金反应工艺包括以下步骤:加料:采用一定比例的粉粹后的高纯合金粉末加入到炉体中的坩埚内;保压置换:真空泵通过气体过滤器对炉体抽真空,然后向炉内充入惰性气体进行置换保护,保压置换3次,再从特定气体进气装置通入特定还原其体进行置换,确定最终压力;加热熔融:按工艺要求设定好加热温度和加热时间,直至固体全部熔融且无蒸汽;旋转搅拌:待金属熔融后下降升降轴驱动旋转装置下浸入熔体内,按一定速度旋转,达到工艺要求时间后,停止旋转并提升升降轴轴使旋转装置脱离熔体,停止加热;冷却脱模出料,取出合金。10.根据权利要求9所述的合金反应工艺,其特征在于,所述保压置换步骤中,真空泵通过气体过滤器对炉体抽真空,充气压力<0.1MPa,冷炉极限真空度≤3P在10分钟时间内压力表面无变化。2CN111690833A说明书1/7页一种高温高效合金反应提纯炉及合金反应工艺技术领域[0001]本发明涉及高温加热炉和新材料领域,尤其涉及一种高温高效合金反应提纯炉及合金反应工艺。背景技术[0002]随着LED新材料、新一代太阳能电池(包括砷化镓太阳能电池和非晶硅薄膜太阳能电池)、相变存储器、半导体激光器、射频集成电路芯片等领域的崛起,由元素周期表中Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族元素生成的化合物(如氮化镓GaN、磷化铝镓铟InGaAlP、砷化镓铝AlGaAs等),因其具有电子迁移率高、