硅铁合金反应炉.pdf
雨巷****珺琦
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硅铁合金反应炉.pdf
本发明公开了一种硅铁合金反应炉,包括:炉体,所述炉体内设置有加热装置和下料装置,所述加热装置设置在炉体内顶部,所述下料装置设置在炉体内底部,所述下料装置安装在导轨上,所述加热装置上连接有电极,所述电极连接外部电源,所述炉体内壁上从内到外依次设置密封层、电绝缘层、保温层和高温保温层。通过上述方式,本发明的硅铁合金反应炉采用电极连接外部电源进行加热,保证了炉体内部反应的持续进行,避免了热量的损失,阻止了炉体内部热量和电流向外扩散,避免了炉体内部遭高温损坏。
一种硅铁合金的反应炉及使用方法.pdf
本发明涉及一种硅铁合金的反应炉及其使用方法;涉及反应炉技术领域,包括如下步骤:反应炉的启动、阴极和阳极通入、阳极的提极处理和阳极更换;阴极和阳极之间通入电之后,炉料、碳化硅粉料和一氧化硅粉料为正负极之间的导体,并发生短路,炉料、碳化硅粉料和一氧化硅粉料随着炉温的升高发生电解,当炉温温度大于2100℃的时候,碳化硅粉料和一氧化硅粉料开始发生反应,并形成熔液,没有参加反应的一氧化硅在大气中氧化成二氧化硅;铁元素还能破坏二氧化硅还原过程的中间产物;使反应向生成方向移动,此反应在1120℃时开始进行,在1200‑
反应炉的清洗装置及反应炉.pdf
本公开提供一种反应炉的清洗装置及反应炉,反应炉的清洗装置包括清洗部、支撑部和驱动部;清洗部被设置为与反应炉的内壁接触,支撑部设置于反应炉内,清洗部安装于支撑部;驱动部设置于支撑部的远离清洗部的一侧,并与支撑部的第一端部固定连接;其中,驱动部被设置为驱动支撑部转动,支撑部带动清洗部相对反应炉的内壁运动。本公开中的清洗部与反应炉的内壁接触,并由驱动部驱动,使得清洗部能够相对反应炉的内壁运动,实现了自动清洁的效果,无需人工手动清洁,提升清洁制程中的安全性;且自动清洁,可以掌控清洁力度,提升清洁效果。
反应炉.pdf
本发明公开了一种反应炉,包括基座、炉体、反应管、第一动力模组与散热模组;炉体连接于基座;反应管连接于基座,用于放置待加工物料;第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,以使位于炉体内的反应管与炉体分离;散热模组用于对分离后的反应管进行散热。上述反应炉中,第一动力模组用于驱动炉体与反应管之间发生相对运动,当炉体与反应管分离后,散热模组可以对反应管进行单独散热,如此,物料(例如晶圆)可以停留在反应管内进行快速散热,避免被空气中的杂质污染,炉体可以保持在加热状态,能够减少整体散热时间,减少或者省去炉体的
反应炉.pdf
本申请涉及一种高温处理气体包括有害气体的反应炉,反应炉包括密封的腔体及进气口和出气口。所述腔体内含隔离层,所述隔离层包括电炉丝和微孔板。所述微孔板上设多个贯穿所述微孔板的通孔。所述电炉丝在所述微孔板上的投影至少部分覆盖所述通孔。气体在从所述进气口进入所述腔体后,在所述微孔板的作用下具备了一定的初始压力,再经过快速升温的电炉丝达到反应温度,最后完成反应,从所述微孔板流向所述出气口排出。本申请所述反应炉来料方便,制作简单,可以快速达到气体发生反应的特定温度和压力条件,进而提高所述反应炉的催化效率,对气体实现有