硅片的烘干装置及硅片的固化装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112050608A(43)申请公布日2020.12.08(21)申请号202010805842.XH01L31/18(2006.01)(22)申请日2020.08.12(71)申请人创富东日（深圳）科技有限公司地址518000广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室（入驻深圳市前海商务秘书有限公司）沙井步涌同富裕工业园A-5地块A２栋1、2楼(72)发明人谢建刘永才(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司11270代理人刘欣张颖玲(51)Int.Cl.F26B15/22(2006.01)F26B25/00(2006.01)F26B25/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称硅片的烘干装置及硅片的固化装置(57)摘要本发明适用于硅片加工设备技术领域，提供了一种硅片的烘干装置及固化装置。上述烘干装置包括：炉体，围合形成有容纳腔；运送组件，用于层叠放置硅片并沿预设方向运动运送硅片；预设方向包括顺序连接的第一方向，第二方向和第三方向，第一方向为直线方向，第一方向和第三方向与竖直方向的夹角均小于或等于90度。上述固化装置包括：上述烘干装置、传输组件和分配组件。传输组件包括多个传输台；分配组件用于分配位于当前传输台上的硅片到下一个传输台。在本发明中通过将硅片在高度方向上以层叠放置的方式存放，不仅增加了炉体内硅片存放的数量，而且降低了整体的占地面面积。同时，将硅片集中进行加热烘干，降低了烘干的能耗，节能环保。CN112050608ACN112050608A权利要求书1/2页1.一种硅片的烘干装置，其特征在于，包括：炉体，围合形成用于加热所述硅片的容纳腔；运送组件，设置在所述容纳腔内，所述运送组件用于层叠放置所述硅片并沿预设方向运动运送所述硅片；其中，所述预设方向包括顺序连接的第一方向，第二方向和第三方向，所述第一方向为直线方向，所述第一方向和所述第三方向与竖直方向的夹角均小于或等于90度。2.如权利要求1所述的硅片的烘干装置，其特征在于，所述第一方向为竖直向上的方向，所述第三方向与所述第一方向间隔并竖直向下的方向，所述第二方向为连接所述第一方向的上端和所述第三方向上端的方向。3.如权利要求2所述的硅片的烘干装置，其特征在于，所述第二方向为沿凸起的圆弧方向，所述第二方向与所述第一方向和所述第三方向相切。4.如权利要求3所述的硅片的烘干装置，其特征在于，所述运送组件包括：支撑架；转动轴，设置在所述支撑架上并可相对所述支撑架转动，所述转动轴至少设置有两个，各所述转动轴沿所述支撑架的高度方向相间隔分布；柔性运送结构，环绕在所述转动轴的外侧，所述柔性运送结构用于所述硅片的存放并随所述转动轴的转动而沿所述预设方向运动；运送驱动件，与所述转动轴中的一个连接以驱动所述转动轴中的一个转动。5.如权利要求4所述的硅片的烘干装置，其特征在于，所述柔性运送结构包括：链轮，所述链轮与所述转动轴对应，每个链轮套设在对应的一个所述转动轴上；链条，用于与各所述链轮相啮合，所述链条首尾相接；存放架，所述存放架具有多个，沿所述预设方向间隔固定在所述链条上，每个所述存放架设置有用于供所述硅片插入的存放槽。6.如权利要求5所述的硅片的烘干装置，其特征在于，所述存放槽的用于所述硅片插入的方向垂直于所述存放槽所在位置的所述链条的切线方向。7.一种硅片的固化装置，其特征在于，包括：如权利要求1-6任一项所述的硅片的烘干装置；传输组件，用于将所述硅片输送至所述烘干装置的运送组件和将所述运送组件所运送的所述硅片输送至所述炉体外；所述传输组件包括多个用于放置所述硅片的传输台，其中，在所述传输组件的运动方向上，传输台的数量随靠近所述炉体而增加；分配组件，用于分配位于当前所述传输台上的所述硅片到下一个所述传输台。8.如权利要求7所述的硅片的固化装置，其特征在于，所述传输组件包括：输入组件，用于将炉体外的所述硅片输送至所述运送组件；输出组件，用于将所述运送组件所运送的所述硅片所述输送至所述炉体外；其中，所述输入组件和所述输出组件间隔设置，位于所述运送组件相对的两侧。9.如权利要求7所述的硅片的固化装置，其特征在于，所述传输组件包括：输送皮带，从所述运送组件的一侧穿过至所述运送组件的相对所述一侧的另一侧；输送驱动件，用于驱使所述输送皮带运动；其中，所述输送皮带将炉体外的所述硅片从所述一侧输入所述运送组件，并在所述另2CN112050608A权利要求书2/2页一侧接收从所述运送组件输出的所述硅片并输送至炉体外。10.如权利要求7所述的硅片的固化装置，其特征在于，所述分配组件包括：第一分配组件，用于将沿一个方向输入所述炉体的所述硅片分散为沿多个平行方向输入所述运送组件；第二