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本实用新型公开了一种烘干装置和硅片加工设备,涉及太阳能电池硅片生产技术领域。具体包括:带有至少一个开口的烘干箱体;所述烘干箱体的各个开口所对应的烘干通道内,沿着烘干通道的开口至烘干通道的内侧方向均依次设有至少两个门体,以将所述烘干通道分隔成一个操作区和至少一个保温区,沿着开口至烘干通道的内侧方向的最外侧门体与与其相邻的门体之间不同时开启;所述操作区和保温区内均设有将待烘干件传入下一级工位的传送组件。旨在降低烘干炉的能耗。