一种大面积石墨烯薄膜的制备方法.pdf
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一种大面积石墨烯薄膜的制备方法.pdf
本发明公开了一种大面积石墨烯薄膜的制备方法,包括如下步骤:将支撑材料与金属基底交替叠放,卷成卷或直接置于CVD反应炉内,在惰性气氛中通入碳源气体和氢气,进行石墨烯的生长;生长结构完成后冷却至室温,将支撑材料与金属基底取出,得到大面积的单层石墨烯薄膜。本发明所述的大面积石墨烯薄膜的制备方法与常规的直接将金属箔直接置于CVD反应炉内生长石墨烯薄膜的制备方法相比,可以制备任意形状,大面积的单层石墨烯薄膜,并且充分利用了CVD反应炉的空间,提高了石墨烯薄膜的生产效率。
一种大面积均匀单层石墨烯薄膜的制备方法.pdf
本发明公开了一种制备大面积均匀单层石墨烯薄膜的方法。该方法将电化学抛光后的单晶基底铜(111)放入高温管式炉,采用化学气相沉积法即可得到大面积均匀单层石墨烯薄膜。本发明利用两步碳源供给,先高碳源生长多层石墨烯大面积薄膜,继而降低碳源,并维持小碳源的长时间供给,多层区域优先刻蚀,最终会达到刻蚀与生长的动态平衡,得到大面积连续单层石墨烯薄膜。
一种制备石墨烯薄膜的装置、方法及所得石墨烯薄膜.pdf
本发明涉及一种通过化学气相沉积法(CVD法)连续制备石墨烯薄膜的装置,其主要由进样室、炉管和出样室组成,生长室高温生长区将一直保持高温生长温度,不用等待升降温的过程,并解决了样品在高温区的传动问题,可以进行不间断的生长,从而大幅度提高用化学气相沉积(CVD)方法制备石墨烯薄膜的产量。
一种石墨烯薄膜制备方法.pdf
本发明涉及一种石墨烯薄膜制备方法,主要包括以下步骤:设备检查、物料准备、薄膜输送、表面喷涂和余料清除,石墨烯薄膜成型设备包括安装架、牵引套件和喷涂套件,安装架上由外到内依次设置有牵引套件和喷涂套件,本发明可以解决现有的石墨烯薄膜在进行生产过程中存在的以下问题:a:现有的石墨烯薄膜在进行生产时常会出现薄膜表面石墨烯覆盖不均匀的情况发生,从而极大的影响了石墨烯薄膜的质量;b:现有的石墨烯薄膜在覆膜时,常因石墨烯薄膜表面存在和脏污,进而导致石墨烯粉末覆盖时出现盲区,进而影响石墨烯粉末的覆膜效果,降低了石墨烯薄膜
一种石墨烯薄膜宏量制备方法.pdf
本发明提供一种石墨烯薄膜宏量制备方法,包含以下步骤:将片状金属基底和片状隔离材料交替地固定于耐高温棒上,置于CVD反应腔内,进行沉积,冷却。与常规CVD石墨烯薄膜制备方法采用将金属箔放置于耐高温板材相比,本发明克服了因为受到耐高温板厚度限制而影响石墨烯薄膜在CVD反应腔内的空间利用率导致的单炉产量不高的问题。