一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112080795A(43)申请公布日2020.12.15(21)申请号202010970707.0(22)申请日2020.09.16(71)申请人浙江晶阳机电股份有限公司地址314413浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇镇保路72号2号楼(72)发明人杨金海(74)专利代理机构嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)33253代理人王家蕾(51)Int.Cl.C30B15/32(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉(57)摘要本发明提供了一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，包括：上炉体或隔离阀；防晶棒掉落夹持装置，若干防晶棒掉落夹持装置均匀设于上炉体或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置包括驱动机构、夹紧块，驱动机构的输出轴通过连接杆与夹紧块相连，在驱动机构的驱动下，夹紧块沿着上炉体或者隔离阀轴线的方向伸缩。本发明具有机构简单、维护方便、可靠性高的特点。CN112080795ACN112080795A权利要求书1/1页1.一种防晶棒掉落操作方法，其特征在于，包括下述步骤S1单晶硅棒在副室内出现从籽晶处或籽晶绳(41)断裂情况时，通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号；S2防晶棒掉落夹持装置(20)能瞬间启动并夹紧晶棒(50)。2.一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，包括：上炉体(10)或隔离阀；防晶棒掉落夹持装置(20)，若干防晶棒掉落夹持装置(20)均匀设于上炉体(10)或隔离阀上，防晶棒掉落夹持装置(20)包括驱动机构(21)、夹紧块(22)，驱动机构(21)的输出轴通过连接杆(23)与夹紧块(22)相连，在驱动机构(21)的驱动下，夹紧块(22)沿着上炉体或隔离阀轴线的方向伸缩。3.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)为弧形。4.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，夹紧块(22)的接触面上设有耐高温护垫。5.根据权利要求4所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，耐高温护垫的材质为聚四氟乙烯。6.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，防晶棒掉落夹持装置(20)设置的数量为a，满足数量关系a≥3，驱动机构(21)为气缸。7.根据权利要求2所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括防晶棒掉落控制系统，防晶棒掉落控制系统包括用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)、电源模块，电源模块分别与用于感知晶棒位移信号的传感器(32)、用于感知晶棒重量信号的传感器(31)、PLC控制器(30)连接及驱动机构(21)相连。8.根据权利要求7所述的一种带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉，其特征在于，还包括报警器(60)，报警器(60)与PLC控制器(30)连接，PLC控制器(30)根据位移信号和/或重量信号控制报警器(60)报警。2CN112080795A说明书1/4页一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉技术领域[0001]本发明属于机械技术领域，涉及一种防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。背景技术[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。[0003]现有技术中，在单晶硅拉制过程中，硅棒重量也在不断增加，会存在籽晶绳断裂，硅棒掉落的安全事故。硅棒掉入石英坩埚内会到最后漏硅事故的发生，更甚者会造成重大财产损失和人员安全事故。[0004]综上所述，为解决现有的单晶炉结构上的不足，本发明设计了一种机构简单、维护方便、可靠性高的带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。发明内容[0005]本发明为解决现有技术存在的问题，提供了一种机构简单、维护方便、可靠性高的防晶棒掉落操作方法及带防晶棒掉落夹持装置的晶体生长炉。[0006]本发明的目的可通过以下技术方案来实现：[0007]一种防晶棒掉落操作方法，包括下述步骤[0008]S1单晶硅棒在副室内出现从籽晶处或籽晶绳断裂情况时，通过称重传感器和位置传感器双重检测出单晶硅棒的掉棒信号，PLC发出夹持动作信号；[0009]S2防晶棒掉落夹持装置能瞬间启动并夹紧晶棒。[0010]一种带防