一种新型单晶炉热屏升降装置.pdf
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一种新型单晶炉热屏升降装置.pdf
本发明涉及单晶硅生产设备技术领域,具体涉及一种新型单晶炉热屏升降装置。包括热屏、升降装置、动力装置和保护装置,所述升降装置通过滑块与热屏连接,升降装置的外围设置有保护装置,包括冷却管、石墨隔热毡和密封波纹管;所述升降装置的滚珠丝杠副外侧设置有一层铜板,铜板外设置有冷却管,所述冷却管外围包括设置石墨隔热毡;所述密封波纹管设置在动力装置与上轴承之间的丝杠上。本装置采用滚珠丝杠螺母通过滑块直接与热屏相连接的方式,增强了热屏升降的平稳性能的同时升降结构简化,使用方便,不仅摩擦损失小、传动效率高、省电,而且可以实现
单晶炉热屏升降装置.pdf
本发明涉及单晶炉领域,尤其涉及一种导流筒提升机构。一种单晶炉热屏升降装置,包括直流伺服马达、第一转向传动机构、第二转向传动机构和提升机构;所述的第一转向传动机构包括第一联轴器、支撑座和齿轮转向箱;所述第二转向传动机构共有两个对称设置,第二转向传动机构包括第二联轴器、第三联轴器、底座、转轴、端盖、压盖和磁流体;所述提升机构包括滑轮、拉绳、压轮和挂钩。本发明由直流伺服马达通过软轴传动实现内导流筒和外导流筒的升降,避免了导流筒与单晶硅硅料相接触,减少对硅料的污染。改善了硅晶体的生长环境,使同一规格的石英坩埚装入
单晶炉热屏提取装置.pdf
本发明单晶炉热屏提取装置,包括:手持杆;连接环,所述连接环设置在所述手持杆下方,所述连接环通过连接杆与所述手持杆连接;连接臂,所述连接臂的一端与所述连接环连接。所述连接臂的数量为三根,三根所述连接臂呈均匀分布。本发明单晶炉热屏提取装置结构简单,其次在现场操作中使用方便,牢固可靠;在取高温热屏作业时,直接利用工装将高温热屏安全取出,有效的避免了由于高温对人身造成的安全隐患。并且可以在温度降低前取出热屏,加快热场取出的进行。减少等待时间一小时,缩短运行时间,降低生产成本。
单晶炉的热屏.pdf
本发明涉及一种单晶炉的热屏,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种单晶炉的热屏,其特征在于:它内热屏层(1)和外热屏层(2),所述内热屏层(1)和外热屏层(2)之间设有保温层(3)。所述保温层(3)为软毡。这种单晶炉的热屏在内热屏层和外热屏层之间增设了保温层,该保温层的材料为软毡,其导热系数小,隔热性能好,使得内热屏层的温度不易传到外热屏层上,从而提高了热屏的保温性能,保证了单晶硅的正常生产。
用于直拉硅单晶炉的热屏装置.pdf
本发明涉及一种用于直拉硅单晶炉的热屏装置,包括外筒、隔热层和内筒,还包括热反射层、隔热垫I、隔热垫II,热反射层置于外筒与隔热层之间;隔热层置于热反射层与内筒之间;隔热垫I设置在热屏装置上端的外筒和内筒之间,隔热垫I的一端与隔热层相接紧配合,隔热垫II设置在热屏装置底端的外筒和内筒之间,隔热垫II的一端与隔热层相接紧配合。本发明的特点是:有效防止钼片热反射层反射的热辐射对晶体的作用,更大程度加大了晶体的散热,提高了晶体生长速度。实现了对熔硅更强的保温,进一步降低了开炉功耗,节省了生产成本。成本低廉、容易实