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本发明属于溅射靶材制备技术领域,公开了一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤:将碲化锌粉、碲粉和锌粉混合均匀,其中碲化锌粉重量占比为70%~90%,碲粉与锌粉摩尔比为1:1;将所得混合粉末放入管式炉中,惰性气氛下加热至300~350℃进行预烧结;将预烧结后的粉末装入模具中,然后放入真空热压炉内,升温至500~550℃进行真空热压处理,处理后的物料随炉降温后出炉,得到毛坯靶材,然后将毛坯靶材进行后加工处理,得到非掺杂导电碲化锌靶材成品。本发明制备方法无其它元素掺杂,在热压温度及压力相对较低的情况下即可实现良好的均匀性,所得碲化锌靶材相对密度高,且具有良好的导电性。