一种加热装置及加热方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112427270A(43)申请公布日2021.03.02(21)申请号202011354432.4(22)申请日2020.11.27(71)申请人重庆惠科金渝光电科技有限公司地址404100重庆市巴南区界石镇石景路1号申请人惠科股份有限公司(72)发明人马越李伟(74)专利代理机构深圳中一专利商标事务所44237代理人张海燕(51)Int.Cl.B05D3/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称一种加热装置及加热方法(57)摘要本发明适用于半导体器件制造工艺技术领域，提供了一种加热装置及加热方法，加热装置包括加热炉、机械臂、输送机构以及升降机构。加热炉内设置有多个加热层，加热层上设有用于放置玻璃基板的支撑结构，加热炉的两侧设置有进口和出口；机械臂设置于加热炉的进口一侧，用于取放玻璃基板；输送机构用于输送玻璃基板；升降机构设置于加热层和输送机构之间，用于驱使输送机构上升以高于加热层上的支撑结构。本发明的加热装置，通过设置出口，当机械臂由于故障死机时，启动升降机构驱使输送机构上升，并使得输送机构高于加热层上的支撑结构，此时驱动输送机构，输送机构带动玻璃基板输送至出口处，并打开出口，输送机构将玻璃基板输送至其他工位。CN112427270ACN112427270A权利要求书1/2页1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热炉，所述加热炉内设置有多个加热层，所述加热层上设有用于放置玻璃基板的支撑结构，所述加热炉的两侧对应所述加热层的位置分别设置有进口和出口；机械臂，设置于所述加热炉的进口处，用于取放所述玻璃基板；输送机构，设置于所述加热层上，用于输送所述玻璃基板；以及升降机构，设置于所述加热层和所述输送机构之间，用于驱使所述输送机构上升以高于所述加热层上的支撑结构。2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构包括：多个支撑轴，沿第一方向间隔设置，相邻的两个支撑轴之间设置有所述支撑结构；主动轴；沿与所述第一方向呈预设角度的第二方向设置，所述主动轴与所述支撑轴的端部转动连接；以及多个滚轮，多个所述滚轮沿所述支撑轴的轴线方向依次设置，并与所述支撑轴连接，所述滚轮上设置有所述玻璃基板；其中，所述支撑结构包括设置于所述加热层上的多个支撑端子，所述支撑端子位于相邻的两个所述支撑轴之间。3.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构还包括：主动力传动磁力轮，套设于所述主动轴上，并与所述主动轴固定连接；以及从动力传动磁力轮，设置于所述主动力传动磁力轮上，所述从动力传动磁力轮与所述支撑轴固定连接，所述从动力传动磁力轮的轴线与所述主动力传动磁力轮的轴线相交。4.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构还包括：齿轮，与所述主动轴连接，用于带动所述主动轮转动。5.如权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述升降机构包括：支撑架，与所述支撑轴连接；以及驱动组件，设置于所述加热层上，所述驱动组件的驱动端与所述支撑架连接。6.如权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述支撑架包括：第一支撑杆，沿所述第一方向设置；以及第二支撑杆，沿所述第二方向设置，并与所述第一支撑杆的端部连接；以及第三支撑杆，沿所述第二方向设置于所述第一支撑杆上，并与所述第一支撑杆连接，所述第三支撑杆与所述支撑轴连接。7.如权利要求6所述的加热装置，其特征在于，所述支撑架还包括：支撑轴承，设置于所述第三支撑杆上，并套设于所述支撑轴上。8.如权利要求1至7任一项所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：第一炉门，设置于所述加热炉的进口处，并与所述加热炉转动连接；以及第二炉门，设置于所述加热炉的出口处，并与所述加热炉转动连接。9.如权利要求1至7任一项所述的加热装置，其特征在于，该加热装置还包括：卡夹搬送机，设置于所述出口处，用于接收输送机构输送的玻璃基板。10.一种加热方法，其特征在于，应用于权利要求1至9任一项所述的加热装置，所述加热方法包括S101：打开加热炉的进口，使得机械臂将玻璃基板放入加热层上，并使得升降机构驱使2CN112427270A权利要求书2/2页输送机构下降，以使得输送机构的高度低于支撑结构的高度；S102：当加热完成时，使得升降机构上升，带动输送机构上升，使得输送机构输送玻璃基板至出口处；S103：打开出口，输送机构输送玻璃基板流出，关闭出口，并打开进口。3CN112427270A说明书1/6页一种加热装置及加热方法技术领域[0001]本发明属于半导体器件制造工艺技术领域，特别涉及一种加热装置及加热方法。背景技术[0002]液晶显示领域存在许多工序需要用到加热炉加热，比如聚酰亚胺(PI，Polyimide)配向膜涂布工序，需要加热